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東莞市廣聯(lián)自動化科技有限公司

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[供應]LEYBOLD萊寶干泵質量可靠*
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廣東東莞市
產地:
德國
更新時間:
2024-06-19 16:48:04
有效期:
2024年6月19日--2025年6月20日
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【簡單介紹】干泵很早就出現了,但沒有明確的定義。就代替油封式機械泵來說,一般通用的說法是:能在大氣壓到10-2Pa的壓力范圍內工作;在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能使用任何油類和液體、排氣口與大氣相通,能連續(xù)向大氣中排氣的泵,即稱為干式真空泵(也稱為無油真空泵)。
【詳細說明】

干泵很早就出現了,但沒有明確的定義。就代替油封式機械泵來說,一般通用的說法是:能在大氣壓到10-2Pa的壓力范圍內工作;在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能使用任何油類和液體、排氣口與大氣相通,能連續(xù)向大氣中排氣的泵,即稱為干式真空泵(也稱為無油真空泵)。德國萊寶LEYBOLD干泵腔內無任何潤滑油,四對斷面相同的轉子,分別在它們各自的泵腔內固定在兩個平行的軸上,用一對時限齒輪把它們連接并調整到使它們相互不接觸,有一定的間隙。德國萊寶LEYBOLD干泵工作時,泵腔容積不斷周期性地發(fā)生變化,由大到小和由小到大,這樣利用氣體通道的啟閉作用實現抽氣作用,并且采用拼接成套的結構,細小雜質和灰塵可通過氣道和氣體一起排出泵外,泵的連續(xù)工作zui大入口壓力為5000Pa,可直排大氣。
德國萊寶LEYBOLD干泵的分類:
現在市場上提供的干泵種類很多。就其基本原理來分,只有兩類,即:
①容積式的無油真空泵,例如多級羅茨泵、爪型泵、往復式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種德國萊寶LEYBOLD干泵的極限壓力一般為0.1~10Pa,抽速為0.01~0.04m3?s。
②動量傳輸式的無油真空泵,如渦輪式無油泵。排氣側與大氣相接,在連續(xù)流狀態(tài)下壓縮比較高。它是一種粗抽泵,可從大氣壓抽到1022Pa。在結構上采用徑向流和周向流泵的復合式結構,多級串聯(lián)抽氣。這種渦輪式泵的極限壓力約為10-2Pa,抽速為0.02~0.15m3?s。牽引型干泵也屬于動量傳輸式的干泵。
這些干泵和油封式機械泵相比,達到同樣的極限壓力,其殘余氣體成分則全然不同,經分析結果明,油封泵的殘余氣體,CnHm氣體(碳氫化合物氣體)為其主要成分,而干式泵的殘余氣體為空氣的組成成分。這就證實了干泵的抽氣不再有油的污染了。
有些干泵在結構設計上,如泵的傳動齒輪和軸承等仍在使用潤滑油,也有用合成油,如PFPE油和其油脂等,并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔內不存在,嚴格來說不是全無油的泵,但經分析,這種合成油的成分在泵入口處是微乎其微的,并無影響。
優(yōu)勢:從大氣進入極限真空可保持連續(xù)運行;出色的熱曲線和溫度控制;可耐受液體和微粒;不會造成工藝污染;性價比高且環(huán)保;功率低;不產生污水;干式運行機械裝置;設計追求可靠性和易維護;可以用水或溶液清洗;去除了壓縮板,可以更好地處理灰塵;轉子設計均衡;標準附件模塊;油經過冷卻和過濾;
德國萊寶ECODRY\M系列活塞式干泵
Ecodry系列為歐瑞康萊寶推向市場的一種干式泵。它可以滿足除半導體行儀以外的所有干式真空的需要。由于它相對于其他干式泵來說,結構簡單,價合理,因此剛一面市、即受到廣大格用戶的歡迎。
Ecodry活塞式干泵的主要技術參數:
抽速:14m3/h~30m3/h
極限真空度:5.5×10-2mbar
排水蒸氣能力:25mbar(zui大)
Ecodrg活塞式干泵的主要特點:
1、結構簡單,易于操作和維護;
2、工作過程中不產生粉塵;
3、耐粉塵,排水蒸氣能力強;
4、低能耗,堅固耐用,可靠性高;
5、可以選配變頻器增大抽速;
典型應用:質譜儀,電子顯微鏡,照明,鍍膜,loadlock,無油高真*級泵等。



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