四探針電阻率測試儀是一種采用四探針、三探針和擴展電阻的電阻率測試儀，四探針電阻率測試儀一般目前的四探針電阻率（電導(dǎo)率）測試儀均已配置厚度的修正，通過厚度數(shù)值的設(shè)置，計算出不同的樣品厚度對電阻率的影響。數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，zui常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上，并且間距相等，都是S，一般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對測量結(jié)果做相應(yīng)的校正。四探針電阻率測試儀可以測量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率，擴散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。也可測柔性導(dǎo)電薄膜和玻璃等硬基底上導(dǎo)電膜的方塊電阻（簡稱方阻），換上四端子測試夾具，四探針電阻率測試儀還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進行測量。

    四探針電阻率測試儀儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；自動轉(zhuǎn)換量程；測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長；測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。四探針電阻率測試儀在計算機控制下進行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態(tài)的自動修正，四探針電阻率測試儀測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。