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當(dāng)前位置：上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>合肥科晶總代理>>鈣鈦礦太陽(yáng)能電池實(shí)驗(yàn)室制備線(xiàn)>> PCE-808.5英寸等離子清洗機(jī)
8.5英寸等離子清洗機(jī) | PCE-80是一款較大型的等離子清洗機(jī)，等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體，采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等）。對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。 |
| 8.5英寸等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn) | 最大射頻功率: 100 W |
射頻電源： ●射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié) ●頻率: 13.56 MH ●可以與本公司工作人員聯(lián)系將原有電源升級(jí)為300W或500W的射頻電源，來(lái)進(jìn)行等離子刻蝕或等離子灰化等實(shí)驗(yàn) 等離子腔體： ●8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體 ●鋁制折疊式法蘭來(lái)進(jìn)行真空密封 ●法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀(guān)察窗口 ●此設(shè)備*屏蔽射頻輻射，零射頻泄漏 通入氣體： ●等離子腔體中可以通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定） ●不能使用易燃qi體及腐蝕性氣體。 可選： ●可選購(gòu) 2" - 6" 石英舟來(lái)盛放基片 ●可選購(gòu)2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng) ●空氣系統(tǒng)模塊 | 控制面板： ●通過(guò)6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開(kāi)啟、清洗時(shí)間和氣體流量等. ●儀器內(nèi)部安裝有一0 - 500ml/minute質(zhì)量流量計(jì)，可精確地控制進(jìn)氣流量 真空泵（選配）： ●儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵 ●極限真空度為50mTorr（參考值，具體請(qǐng)點(diǎn)擊） ●真空泵模塊 外形尺寸： 620 L ×600 W ×600 H, mm 相關(guān)應(yīng)用： ●請(qǐng)自行根據(jù)您的應(yīng)用測(cè)試最佳的等離子功率 ●對(duì)于等離子清洗，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在10 - 30W之間 ●對(duì)于等離子刻蝕，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在35 - 80W之間 ●可根據(jù)要求提供300W高功率射頻電源 |
