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連續(xù)流探針臺(tái)半導(dǎo)體芯片測(cè)試設(shè)備探針臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì)，滿足廣泛的實(shí)驗(yàn)需求，LH-CPX低溫探針臺(tái)是德世提供的一款通用高性能設(shè)備，出廠時(shí)可根據(jù)客戶需求配置成液氦制冷或者液氮制冷。各種選件根據(jù)研究人員需要選擇，能滿足絕大多數(shù)實(shí)驗(yàn)需求。LH-CPX有多層防輻射罩(液氦和液氮防輻射罩不同)有利于減少熱輻射，確保樣品溫度低于5K (液氦)。安裝多個(gè)溫度傳感器，保證溫度測(cè)量準(zhǔn)確性以及重復(fù)性。樣品處于真空環(huán)境中，確保一些親水性材料表面不冷凝，選件可實(shí)現(xiàn)樣品從制備到測(cè)量可處于真空環(huán)境中。LH-CPX 可以使用液氮和液氦兩種低溫液體，根據(jù)客戶需求出廠時(shí)配置好。
探針臺(tái)原理及應(yīng)用
德世的低溫探針臺(tái)為材料早期無損電性能測(cè)量提供了一個(gè)精準(zhǔn)的低溫磁場(chǎng)環(huán)境。探針 臺(tái)是物理科學(xué)家和研究人員對(duì)材料研究的有利便捷工具、并且測(cè)試測(cè)量重復(fù)性一致性比較好。 探針臺(tái)也可以作為一個(gè)靈活多用的公共測(cè)試平臺(tái)。典型的應(yīng)用包括不同溫度下普遍的IV 和CV曲線、微波測(cè)量、光電響應(yīng)、電輸運(yùn)特性、霍爾效應(yīng)測(cè)試以及其他類型的材料研究。
德世低溫探針臺(tái)提供了眾多的測(cè)試環(huán)境，可根據(jù)研究人員的需要自行選擇對(duì)應(yīng)型號(hào)， 以滿足研究人員多樣化的應(yīng)用需求。從通用平臺(tái)到專業(yè)平臺(tái)，每個(gè)德世探針臺(tái)都經(jīng)過精心設(shè)計(jì)，以確保在整個(gè)溫區(qū)范圍內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)行和可靠的測(cè)量。
特點(diǎn)
低溫液體冷卻樣品臺(tái)以及輻射屏，充分利用低溫液體，減少使用成本
可以使用液氮或者液氦制冷
輻射屏有可視窗，樣品可視化操作
多種附件可供選擇
德世銷售最多的低溫探針臺(tái)
可定制最大4in的樣品臺(tái)(標(biāo)配2in)
連續(xù)流探針臺(tái)半導(dǎo)體芯片測(cè)試設(shè)備
液氮配置
1.液氮冷卻樣品臺(tái)，蒸發(fā)后的低溫氮?dú)饫鋮s防輻射屏和二級(jí)防輻射屏
2. 防輻射屏帶紅外吸收窗口
3. 使用液氮作為冷源
溫 度 屬 性 ( 液 氦 ) | ||
蕞低溫度 | 控溫范圍 | 配置 |
4.5K | 5K-500K | 6個(gè)探針臂 |
20K | 20K-675K | 高溫選件 |
10K | 10K-400K | 真空載入樣品選件 |
溫 度 屬 性 ( 液 氮 ) | ||
蕞低溫度 | 控溫范圍 | 配置 |
78K | 80K-500K | 6個(gè)探針臂 |
80K | 80K-675K | 高溫選件 |
控溫穩(wěn)定性 | ||
溫度范圍 | 液氦 | 液氮 |
蕞低溫不控溫 | ±15mK | ±20mK |
<10K | ±50mK | |
10K-100K | ±20mK | ±50mK |
100K-250K | ±15mK | ±50mK |
250K-350K | ±15mK | ±100mK |
350K-500K | ±50mK | ±100mK |
真空性能 | |
室溫 | <5X10-3Pa |
蕞低溫 | <5X10-4Pa |
蕞高溫 | <5X10-2Pa |
注：以上數(shù)據(jù)使用600L渦輪分子泵組得到 | |
樣 品 振 動(dòng) | |
X方向 |
<300nm |
Y方向 | |
Z方向 | |
時(shí)間參數(shù)：
◆抽空時(shí)間：0.5h (與泵組相關(guān))
◆降溫時(shí)間：液氦從室溫到蕞低溫1.25h, 液氮從室溫到蕞低溫0.5h
◆升溫時(shí)間：液氦從蕞低溫到室溫1.25h, 液氮從蕞低溫到室溫0.5h
樣品臺(tái)：
◆標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)：51mm(2in)
◆蕞大樣品臺(tái)：102mm(4in) 選配
◆樣品臺(tái)背光：無
◆樣品臺(tái)類型：三同軸樣品臺(tái)(標(biāo)配)、接地樣品臺(tái)(選配)、0.15T 垂直磁場(chǎng)樣品臺(tái)(選配)
◆樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)：±5° (選件)
探針：
◆探針數(shù)量：蕞多6個(gè)
◆探針傳感器：硅二極管(液氦), PT100 (液氮),監(jiān)視探針溫度
◆探針托溫度：<20K ( 液 氦 ) , <100K (液氮)
◆探針熱沉：熱沉到探針臺(tái)或者相同溫度的防輻射屏
◆探針臂：熱沉到防輻射屏
◆DC/RF探針：絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100Fa
◆微波探針：DC到67GHz，用于微波測(cè)量
◆光纖探針：用于光電測(cè)量
探針位移 :
◆X方向行程:50mm，移動(dòng)分辨率3 μm
◆Y方向行程:25mm，移動(dòng)分辨率5 μm
◆Z方向行程:25mm，移動(dòng)分辨率5μm
顯微鏡配置
3400萬像素CCD相機(jī)
支持HDMI1080P 60/圖像輸出
4條水平線4條垂直線，帶測(cè)量軟件
景深同軸光鏡頭，帶LED同軸光源
標(biāo)準(zhǔn)HDMI接口
電子縮放1x-10x
光學(xué)倍數(shù)0.7-5X
電子倍數(shù)20-200x
成像距離140-180mm
景深高度：10mm
觀看面積1mm-18mm
工作距離:37.5mm-160mm
數(shù)值孔徑NA:0.018-0.092
分辨率:18.6μm-3.65μm
視場(chǎng):0.99mm-34.28mm★★
物鏡可選
顯示器尺寸:21.5英寸
制冷劑消耗：
◆室溫到蕞低溫度：10到15L ( 液 氦 ) , 4 到 5L (液氮)
◆液氦消耗(5K):1L/h
◆液氮消耗(80K):0.5L/h
探針臺(tái)配置
溫度配置 | |
樣品臺(tái)傳感器加熱器 | 液氦：硅二極管傳感器、100W加熱器 |
液氮：PT100傳感器、100W加熱器 | |
5K防輻射屏傳感器加熱器 | 硅二極管傳感器、100W加熱器 |
防輻射屏傳感器加熱器 | PT100傳感器、100W加熱器 |
探針臂傳感器 | 液氦：硅二極管傳感器(安裝在其中一個(gè)針臂) |
液氮：PT100傳感器(安裝在其中一個(gè)針臂) | |
溫 度 控 制 | |
控溫儀型號(hào) | LH102C控溫儀 |
低溫輸液管 | 液氮液氦通用低溫輸液管(1.5m,其它長(zhǎng)度可選配),帶流量閥控制 |
低溫液體儲(chǔ)存罐 | 液氦：100L液氦自增壓低溫罐(可選更大容量) |
液氮：30L液氮自增壓低溫罐(可選更大容量) | |
支 架 | |
支架尺寸 | 長(zhǎng)寬高660X430X430mm(不含腳輪) |
腳輪 | 4個(gè)萬向福馬輪，稱重400公斤 |
桌面 | 長(zhǎng)寬厚650X550X16mm |
氣浮隔振 | 可選配 |
真 空 腔 體 | |
材料 | 鋁本色氧化(可選不銹鋼電鍍鉻) |
外部直徑高度 | 220X150mm |
內(nèi)部直徑高度 | 190X150mm |
可視窗凈尺寸 | φ65毫米，紅外吸收石英窗口 |
真空抽口 | KF16 |
真空閥門 | KF16手動(dòng)擋板閥 |
放氣閥 | 手動(dòng)放氣閥 |
預(yù)留接口 | KF25接口，可裝真空計(jì)等其它選件 |
探針引出口 | 六個(gè)真空三同軸接口(DC探針，選擇其它探針，接口不同) |
防 輻 射 屏 | |
材料 | 銅鍍金 |
外徑 | 134mm |
可視窗凈尺寸 | 50mm,配紅外吸收窗口 |
抽 空 泵 組 | |
分子泵組 | 可選(客戶可自備) |
機(jī)械泵組 | 可選(客戶可自備) |
抽 空 減 振 塊 | |
抽空減振塊 | KF25進(jìn)出氣口，重量15公斤 |
配 電 要 求 | |
電壓 | 220V/50Hz |
功率 | 1KW |
