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南京皓而普分析設(shè)備有限公司(愛爾蘭AGC南京辦事處)
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S49 32/MT質(zhì)量流量計

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌HOPE/皓而普

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地南京市

更新時間:2024-06-12 16:02:05瀏覽次數(shù):1002次

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價格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 液體
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè)
S49 32/MT質(zhì)量流量計
耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬,氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

S49 32/MT質(zhì)量流量計

  1. 特點及主要應(yīng)用領(lǐng)域

  2. 氣體質(zhì)量流量控制器(流量計)Mass gas flow controller(meter)縮寫為MFC(MFM))是對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制的設(shè)備。

S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計)特點:

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬,氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

☆主體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu),氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示,使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。

☆配合MT-60 系列流量積算儀,可對氣體的瞬時流量和累積流量進(jìn)行精確計量。

S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計)主要應(yīng)用領(lǐng)域:

半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制;

分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制;

各種形式的真空鍍膜設(shè)備;

環(huán)境檢測與分析設(shè)備;

化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制;

特種材料表面處理裝置與燃燒控制;

混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。

2S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)型號

S49 32/MT 系列質(zhì)量流量控制器(流量計),S49為質(zhì)量流量控制器(流量計)產(chǎn)品,32/MT為本公司此產(chǎn)品設(shè)計序列號。

質(zhì)量流量計用于對氣體的質(zhì)量流量精確測量計量;

質(zhì)量流量控制器(流量計)不但具有質(zhì)量流量計的測量計量功能,還具有自動控制氣體的質(zhì)量流量功能。

型式批準(zhǔn)證書:2011F215-11

執(zhí)行Q/CYHMT001-2011企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

許可證編號:京制01050063號

3.主要技術(shù)指標(biāo)

質(zhì)量流量控制器(流量計)流量出廠通常用氮氣(N2)標(biāo)定。

質(zhì)量流量單位為:mL/min(毫升/分鐘);(SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))

L/min (升/分鐘)。  (SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為:溫度----273.15K(0℃);

            氣壓----101325Pa(760mmHg)

F.S(Full Scale):表示滿量程值

S49 32/MT質(zhì)量流量計

表1 S49 32/MT質(zhì)量流量控制器(流量計)技術(shù)指標(biāo)

編號

項目

S49 32/MT

1

流量規(guī)格

(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min

(1,2,3,5,10)L/min

2

調(diào)節(jié)閥類型

電磁調(diào)節(jié)閥

3

調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)

常閉

4

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S

5

線性

±1.5%F.S

6

重復(fù)精度

±0.2%F.S

7

響應(yīng)時間

8秒(T95)

8

工作壓差范圍

50~300kPa;   (100300kPa(10L/min)

9

耐壓

3MPa;           10MPa

10

工作環(huán)境溫度

(5~45)℃

11

材料

不銹鋼316L

12

標(biāo)準(zhǔn)密封材料

Viton?,    EPDM,  或其他由用戶zhi定

13

漏率

1×10-8Pa.m3/s

14

接頭

Φ6mm~Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR?;蚱渌捎脩魖hi定

15

輸入輸出信號

(0~+5.00)V (輸入阻抗≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA)

16

供電電源

±15V(±5%)(+15V  50mA,  -15V  200mA)

17

外形尺寸mm

130(寬)×102(高)×28(厚) 

18

重量kg

0.8

 

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