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中級(jí)會(huì)員 | 第15年

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徠卡攝像頭——圖像的模擬量處理

時(shí)間:2012/6/27閱讀:3696
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徠卡攝像頭——圖像的模擬量處理

徠卡攝像頭——圖像的模擬量處理是在探測(cè)器到顯像管之間信號(hào)轉(zhuǎn)換過(guò)程中的模擬量處理。目的是改變圖像襯度以適應(yīng)人們的觀察和辨認(rèn)。常用的圖像模擬量處理方法有以下幾種。

徠卡攝像頭的差值放大或壓直流技術(shù)一這是指在壓低信號(hào)中的直流成分而加大各象元處信號(hào)的差值。它適用于信號(hào)太小的圖像。

徠卡攝像頭的非線性放大(也稱灰度或廠控制)一這種處理目的是局部放大國(guó)像中某電平范圍內(nèi)的信導(dǎo)差值。如果原始襯度給出的圖像信號(hào)電平覆蓋范圍很大,而人們感興趣的只是近黑電平(即強(qiáng)度zui低值)或白電乎(強(qiáng)度zui高值)區(qū)的一部分信息細(xì)節(jié),便可用非線性放大單元來(lái)放大感興趣區(qū)的信號(hào)以顯示出其中更多細(xì)節(jié)。

以上是徠卡攝像頭的常用的二種襯度調(diào)節(jié)法。此外還有襯度黑白翻轉(zhuǎn)、信號(hào)微分和Y調(diào)制等圖像處理方法可供人們選用?;谥瘘c(diǎn)掃描成像原理,這里的圖像分辨串由“掃描點(diǎn)”的大小決定。首先這些點(diǎn)與樣品亡入射電子束的直徑密切相關(guān)。其次,它還決定于樣品本身的襯度特性。因?yàn)闃悠废噜弲^(qū)之間的襯度直接影響著人們對(duì)它們的分辨能力,也決定了可允許的zui小電子束直徑。第三,由于入射電子進(jìn)入樣品后會(huì)形成一定的散射區(qū),換句話說(shuō)檢測(cè)到的信號(hào)電子來(lái)自樣品中一定的取樣區(qū),它必然超出入射束的直徑,從而限制著電鏡的分辨率。

徠卡攝像頭在給定入射電子探針的直徑時(shí),信號(hào)電子的產(chǎn)區(qū)越大,圖像分辨率就越差。由于二次電子的產(chǎn)區(qū)比背散射電子的小,故二次電子像的分辨率高。典型的低能二次電子產(chǎn)自樣品面以下深度為‘m處,‘m為納米(nm)量級(jí),而發(fā)射區(qū)的寬度Jj“也近似為rjf。因直徑dA的電子束橫截面內(nèi)電流密度有一定分布,故由它掃描得出的二次電子信號(hào),相當(dāng)于來(lái)自總直徑為(J5十的取樣區(qū)。對(duì)于二次電子來(lái)說(shuō),它所決定的分辨率約為幾個(gè)nm。

至于徠卡攝像頭的背散射電子像的分辨率一般說(shuō)來(lái)較差。因?yàn)樗陌l(fā)射區(qū)直徑d“n約與電子在固體樣品中的射程R同級(jí),只可達(dá)幾百nm甚至v”量級(jí)。但是近年來(lái)有一些新型探頭問(wèn)世,如Robh助n探頭,以其*的分辨率引起人們的關(guān)注。它利用的是高能量的背散射電子,而且從結(jié)構(gòu)上顯著提高了收集效率。故在熱鎢絲型掃描電鏡中圖像空間分辨率可提高至8nm,平均原子序數(shù)分辨率為。

如果徠卡攝像頭的的電子槍采用高亮度的LaB6甚至場(chǎng)發(fā)射槍,則圖像分辨率將明顯增加。如LeLca—Cambr噸e生產(chǎn)的S比reo—現(xiàn)an360型掃描電鏡,用熱鎢絲陰極時(shí)的二次電子像分辨宰為4nm,改用L6B*后確保分辨率為3.,甚至可達(dá)2.5nm。又如日本H噸chi公司的5—4000掃描電鏡采用場(chǎng)發(fā)射槍的二次電子像分辨率為1.5nm。

徠卡攝像頭的掃描電鏡的使用

徠卡攝像頭的操作使用相對(duì)比較簡(jiǎn)單。但是要得到滿意的結(jié)果,同樣要認(rèn)真對(duì)待。首先要注意樣品的制備,尤其是生物醫(yī)學(xué)樣品的制備更是‘—項(xiàng)專門而復(fù)雜的技術(shù)。對(duì)有些非導(dǎo)電樣品,為防止其充電造成圖像假象,須要在表面蒸涂一定的金屬導(dǎo)電層。因此如何掌握噴蒸條件也是應(yīng)該注意的。

徠卡攝像頭樣品制備外,將電鏡調(diào)整在良好狀態(tài)也是重要的一環(huán)。和透射電統(tǒng)一樣,電鏡對(duì)中是調(diào)整工作的*步,其次就是對(duì)有關(guān)物理量的正確選用。

徠卡攝像頭的末光閱和工作距離一當(dāng)樣品表面祖循而且要求使用低放大倍數(shù)時(shí),可以用小孔徑的末光鬧和長(zhǎng)工作距離。因?yàn)檫@樣可以得到長(zhǎng)景深。此時(shí)為保證足夠的信號(hào)強(qiáng)度,可適當(dāng)減小聚光鏡電流以加大束流。在高放大倍數(shù)下,徠卡攝像頭只要對(duì)分辨率要求不太高,可選用大孔徑光闌和短工作距離。為提高分辨率,則必須減小末光闌的孔徑。

備注:徠卡攝像頭——圖像的模擬量處理部分文章由http://www.cnnoptics.com/,編輯上傳。

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