波長色散型X射線熒光光譜儀(WD-XRF)，是用晶體分光而后由探測器接收經(jīng)過衍射的特征X射線信號(hào)。如果分光晶體和控測器作同步運(yùn)動(dòng)，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內(nèi)各種元素所產(chǎn)生的特征X射線的波長及各個(gè)波長X射線的強(qiáng)度，可以據(jù)此進(jìn)行定性和定量分析。
能譜色散型X熒光光譜儀(ED-XRF)，用X射線管產(chǎn)生原級(jí)X射線照射到樣品上，所產(chǎn)生的特征X射線(熒光)直接進(jìn)入半導(dǎo)體探測器，便可以據(jù)此進(jìn)行定性分析和定量分析。
由于普通能量色散X熒光采用低功率X射線管，又采用濾光片扣除背景和干擾，其背景偏高，分辨率偏小，使得應(yīng)用范圍受到限制，特別是在輕元素的分析受到限制。隨之X射線偏振器的誕生，產(chǎn)生了一款新型的能量色散X熒光光譜儀，既偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF，再加上SDD探測器的使用，不僅提高了(相對(duì)使用正比計(jì)數(shù)管和Si(PIN)探測器的儀器)的分辨率，免去Si(Li)探測器使用液氮冷卻的繁瑣和危險(xiǎn)，了原來普通能量色散X熒光的輕元素檢出限高，分辨率差的缺陷，又使得(相對(duì)波長色散X熒光用戶)購買和使用X熒光儀器的成本大大減低，這使得偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF在分析領(lǐng)域的迅猛發(fā)展，越來越受到廣泛關(guān)注。
WD-XRF與ED-XRF的簡明比較
| 項(xiàng)目 | 偏振式能量色散X熒光 | 波長色散型X熒光 | 普通能量色散型X熒光 |
| 原理 | X熒光經(jīng)次級(jí)偏振靶使X射線產(chǎn)生偏振（提高信噪比）后，進(jìn)入檢測器，經(jīng)電子學(xué)系統(tǒng)處理得到不同元素（不同能量）的X熒光能譜 | X熒光經(jīng)晶體分光，在不同衍射角測量不同元素的特征線 | X熒光直接進(jìn)入檢測器，經(jīng)電子學(xué)系統(tǒng)處理得到不同元素（不同能量）的X熒光能譜 |
| 結(jié)構(gòu) | 無掃描機(jī)構(gòu)，只用一個(gè)檢測器和多道脈沖分析器，結(jié)構(gòu)簡單得多，無轉(zhuǎn)動(dòng)件，可靠性高 | 為滿足全波段需要，配置多塊晶體，根據(jù)單道掃描和多道同時(shí)測定的需要，設(shè)置掃描機(jī)構(gòu)和若干固定通道 | 無掃描機(jī)構(gòu)，只用一個(gè)檢測器和多道脈沖分析器，結(jié)構(gòu)簡單得多，無轉(zhuǎn)動(dòng)件，可靠性高 |
| X光管 | 功率低，不需冷卻水，X光管壽命長 | 高功率，要高容量冷卻系統(tǒng)，X光管壽命短 | 功率低，不需冷卻水，X光管壽命長 |
| 檢測器 | SDD | 正比計(jì)數(shù)器，和λ、晶體、檢測器有關(guān) | Si(pin) |
| 靈敏度 | ug/g級(jí) | Ug/g級(jí) | 輕基體ug/g級(jí)，其它10～102ug/g級(jí) |
| 度 | 取決于標(biāo)樣 | 取決于標(biāo)樣 | 取決于標(biāo)樣 |
| 精密度 | 好 | 很好 | 低濃度時(shí)不如WD |
| 系統(tǒng)穩(wěn)定性 | 好，工作曲線可長時(shí)間使用 | 需作周期性漂移校正，定期作工作曲線 | 好，工作曲線可長時(shí)間使用 |
| 方便性 | 好 | 一般 | 好 |
| 分析速度 | 快 | 單道慢，多道快 | 快 |
| 人員要求 | 一般 | 較高 | 一般 |
| 樣品表面 | 要求不高 | 要求平坦 | 要求不高 |
| 價(jià)格 | ￥60～100萬/臺(tái) | ￥120～250萬/臺(tái)（其中單道￥120～180萬/臺(tái)） | ￥30～70萬/臺(tái) |
| 測定元素范圍 | 11Na～92U | 5B～92U | 11Na～92U |
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