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UNHT³ HTV-安東帕高溫高真空超納米壓痕儀
  • UNHT³ HTV-安東帕高溫高真空超納米壓痕儀
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更新時(shí)間:2025-02-14 21:00:07

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瑞士CSM Instruments 推出了*臺(tái)真正意義的商品化的(高真空)高溫納米壓痕儀。

新一代的高溫納米壓痕測(cè)試儀

  • 環(huán)境條件下低熱漂移 (< 0.5 nm/min) 和整個(gè)溫度范圍內(nèi)低熱漂移 (< 3 nm/min)。
  • 高載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和低框架柔度 (<<0.1 nm/mN):兩套獨(dú)立的位移和載荷傳感器與高精度電容傳感器結(jié)合,可選擇“控制位移”和“載荷控制”模式。
  • 高真空系統(tǒng)具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統(tǒng),允許在測(cè)量期間關(guān)閉初級(jí)泵,使振動(dòng)降至低。
  • *的加熱控制系統(tǒng),采用3 個(gè)紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓痕針尖、參比針尖和樣品進(jìn)行加熱,以及 4 個(gè)熱電偶用于將樣品表面溫度控制到 變化在0.1°C 內(nèi)。
  • 符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 標(biāo)準(zhǔn)

技術(shù)指標(biāo)

載荷
大載荷100 mN
載荷分辨率  6 nN
本底噪音  0.5 [rms] [μN]*
位移
大位移100 μm
位移分辨率0.003 nm
本底噪音0.15 [rms] [nm]*
 
極限真空度10? mBar
高溫度800 °C

*理想實(shí)驗(yàn)室條件下規(guī)定的本底噪音值,并使用減震臺(tái)。

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