目錄:孚光精儀（中國(guó)）有限公司>>光學(xué)精密儀器>> FPLAU-H6-23進(jìn)口spin coater,勻膠儀,甩膠儀,旋涂?jī)x
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更新時(shí)間：2022-08-25 09:52:29瀏覽次數(shù)：431評(píng)價(jià)
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,綜合 |
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這款進(jìn)口spin coater是高精度勻膠儀,勻膠臺(tái),甩膠儀,涂膠儀,旋涂?jī)x,結(jié)構(gòu)緊湊,具有先進(jìn)的功能,可安裝到手套箱中使用。適合150mm晶圓和5英寸×5英寸（127mm×127mm）基板使用，最大轉(zhuǎn)速為12000RPM（基于100mm硅片）.
進(jìn)口spin coater包括一款無(wú)線平板電腦，該平板電腦采用Laurell Touch過(guò)程控制軟件。通過(guò)使用其附帶的PC軟件Spin 3000，它在過(guò)程定義和使用方面實(shí)現(xiàn)了靈活性。該無(wú)線控制器允許操作員在流程執(zhí)行期間從實(shí)驗(yàn)室的任何位置進(jìn)行實(shí)時(shí)交互，包括暫停時(shí)間、停止和從該點(diǎn)繼續(xù)。該系統(tǒng)可以并且將在現(xiàn)場(chǎng)通過(guò)可下載的固件版本輕松快速地持續(xù)更新。
進(jìn)口spin coaterPC的使用增加了記錄進(jìn)程運(yùn)行、遠(yuǎn)程操作、編程或跨局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)通信的能力。該軟件免費(fèi)提供，允許操作員在實(shí)際安裝的spin coater硬件之外創(chuàng)建虛擬流程模擬，實(shí)際上，讓他們?cè)谔峤涣鞒讨皣L試。所有進(jìn)口spin coater都可以通過(guò)簡(jiǎn)單的插件模塊（無(wú)論是實(shí)際的還是虛擬的）升級(jí)或重新設(shè)計(jì)，無(wú)需返回工廠，并且可以包含幾乎無(wú)限數(shù)量的過(guò)程和步驟。
進(jìn)口spin coater的外殼通常由Laurell Technologies專有的固體共聚共混物制成。與天然聚丙烯不同，這種材料能夠抵抗溶劑和強(qiáng)酸強(qiáng)堿。樣品可根據(jù)要求進(jìn)行測(cè)試和驗(yàn)證。可提供固體PTFE Hostaflon®TFM-1600/Teflon®AF外殼（適用于高溫化學(xué)和亞微米顆粒研究）。
進(jìn)口spin coater閉式碗設(shè)計(jì)，加上過(guò)程控制器的精度，允許大多數(shù)涂層材料在靜態(tài)狀態(tài)下干燥，提高均勻性并將顆粒污染降至低。上部增壓室在底座內(nèi)部關(guān)閉，以提供重疊密封，蓋子內(nèi)部有一個(gè)特殊的排水溝，用于將流體引導(dǎo)至系統(tǒng)后部，防止化學(xué)品意外滴到基材上。
進(jìn)口spin coater專有的迷宮密封保護(hù)電機(jī)和控制電子設(shè)備免受化學(xué)污染。該密封為工藝室提供氮?dú)獯祾?，并在現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試期間證明在亞微米水平上無(wú)顆粒。該系統(tǒng)的蓋子耐化學(xué)腐蝕，并在整個(gè)系統(tǒng)的非濕潤(rùn)區(qū)域使用涂有ECTFE的316不銹鋼螺釘固定。
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