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日立分析儀器(上海)有限公司

您應(yīng)該在何時考慮使用UV - DSC?

時間:2023-3-15 閱讀:363
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光敏樹脂又稱“光刻膠”,是一種在受光線(紫外線)照射時其自身特性會發(fā)生變化的材料。光刻膠具有分辨率高、微加工以及在短時間內(nèi)形成耐蝕刻薄膜能力等特征。

 

這種材料廣泛應(yīng)用于印刷電路板布線、電子零部件制造和印刷制版等領(lǐng)域。在其他示例中,短時間固化型紫外線粘合劑用于更廣泛的領(lǐng)域(例如,電子產(chǎn)品和光學(xué)電子產(chǎn)品以及醫(yī)學(xué)領(lǐng)域、玻璃制品和建筑)。

 

在開發(fā)新的光敏樹脂時,固化反應(yīng)熱是必須評估的特性之一。眾所周知,包括曝光波長、照射強度和反應(yīng)溫度在內(nèi)的光固化期間,條件會改變耐蝕刻薄膜的形成。因此,在嘗試形成最佳耐蝕刻薄膜時,必須考慮各種固化條件。

 

通過使用差示掃描量熱儀(DSC)和具有光化學(xué)反應(yīng)量熱儀(PDC)的紫外線照射裝置,可以實時測量受UV(紫外線)照射時的固化反應(yīng)熱。

 

光化學(xué)反應(yīng)量熱儀(PDC)如何工作?

 

PDC與DSC結(jié)合使用,并通過光導(dǎo)裝置,使用來自UV光源的紫外光照射樣品。通過安裝光照射附件,從護套上方插入光導(dǎo)裝置,可以經(jīng)由石英蓋,使用光照射樣品和參比樣品。

 

可通過使用冷卻裝置、電子冷卻裝置或自動液氮冷卻裝置中的任意一種,防止照射光的熱量引起的溫度升高,并且可以在等溫條件下測量溫度。

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圖1:光化學(xué)反應(yīng)量熱儀

 

 

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圖2:PDC概念圖

 

 

PDC提供哪些現(xiàn)象的信息?

當改變曝光波長、照射強度或照射時間時,PDC可以測量固化反應(yīng)中的熱量和固化速度。例如,照射強度為1、2、10、20、100和500mW/cm ²時的照射測量結(jié)果如圖1所示。隨著照射強度的增加,放熱量也有增大的趨勢,可知固化反應(yīng)量增加。放熱峰的反應(yīng)開始至峰頂所需時間也更短,可知固化反應(yīng)的速度更快了。

 

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圖1:照射強度差異

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使用PDC的優(yōu)勢?

? 高輸出紫外線光源

          ? 照射強度最高500mW/cm²

          ? 照射強度易于調(diào)節(jié)

          ? 與正常分析相同的儀器蓋

          ? 相似的操作流程和提高再現(xiàn)性

      ? 波長選擇濾波器

          ? 254, 313, 365, 405, 和 436 波長

          ? 易于更換的濾波器

? 可使用通用DSC – 不執(zhí)行光照時易于拆卸。

 

使用PDC的測量示例

對于印刷電路板蝕刻中使用的1mg干膜光刻膠,使用PDC的測量結(jié)果如下所示。為研究固化引起的熱值差異,在不同照射光波長、照射強度和固化反應(yīng)溫度條件下執(zhí)行測量。光源是汞/氙燈,照射光波長選自于波長濾波器。

 

不同照射強度的DSC測量結(jié)果如圖2所示。照射波長為365nm。在測量開始后一分鐘開始照射,使用四種照射強度:1、5、10和50mW/cm²。照射后,光固化反應(yīng)立即產(chǎn)生放熱,約6分鐘后,反應(yīng)結(jié)束。通常,照射強度越高,反應(yīng)的能量越高。該原理同樣適用于照射強度較低時,在此情況下,不能完全進行固化反應(yīng),聚合度降低。

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圖2:干膜在不同照射強度下的DSC曲線     照射波長:365nm  測量溫度:25 ℃

 

通過峰面積積分軟件,為圖2中的測量結(jié)果創(chuàng)建圖3所示的積分曲線??偯娣e在縱軸上設(shè)定為100%,并顯示每個時間段的峰值百分比。結(jié)果表明,照射強度越高,積分曲線的初始上升幅度越大,固化反應(yīng)速率越快。

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圖3:熱值積分曲線 照射波長:365nm 測量溫度:25 ℃

 

不同照射波長的DSC測量結(jié)果如圖4所示。照射強度為5mW/cm²,照射波長選自五臺干涉濾波器。根據(jù)這些結(jié)果,當照射波長為365或405nm時,該測量樣品的峰值特別大,這表明波長對反應(yīng)速率具有大影響。該示例表明,在測量照射固化時,必須謹慎選擇照射波長。

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圖4:不同照射波長下的干膜DSC曲線 照射強度:5mW/cm² 測量溫度:25 ℃

 

在不同溫度下執(zhí)行的DSC測量結(jié)果如圖5所示。結(jié)果表明,較高測量溫度會增大熱流,并提高聚合反應(yīng)速率。

 

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圖5:4種不同測量溫度下的干膜DSC曲線 照射強度:5mW/cm² 照射波長:365nm

 

規(guī)格

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日立DSC分析儀系列可實現(xiàn)明顯更好的熱分析

 

 

NEXTA DSC儀器具有靈敏度和基線重現(xiàn)性,能夠提供更精確的試驗,甚至能夠評價最小的熱信號事件。

 

日立創(chuàng)新型Real View®相機系統(tǒng)在測量過程中提供實時觀察結(jié)果,從而進行顏色分析、測量尺寸變化以及了解非預(yù)期結(jié)果。在測量過程中查看樣品圖像也有助于與同事和可能不了解這項技術(shù)的客戶分享結(jié)果。

 

DSC200為常規(guī)應(yīng)用領(lǐng)域提供先進的技術(shù),無任何限制,是各種應(yīng)用領(lǐng)域的理想選擇。DSC600專門設(shè)計用于滿足先進的材料開發(fā)和失效分析,這要歸功于其靈敏度和分辨率,尤其是用于應(yīng)用研究領(lǐng)域中。

 

 

 

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