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EMS300R T 大樣本離子濺射鍍膜儀（通用儀器）

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 海德創(chuàng)業(yè)（北京）生物科技有限公司
品牌
型號 EMS300R T
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 代理商
更新時間 2017/4/10 15:40:47
訪問次數(shù) 1454

產(chǎn)品標(biāo)簽

鍍膜儀蒸碳儀鍍金儀

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公司介紹 主營產(chǎn)品

海德公司是Electron Microscopy Sciences 公司（簡稱 EMS ）在中國的總代理，我們致力于符合中國客戶的產(chǎn)品引入中國！精密的Dumont鑷子和DiaTome鉆石刀給電子顯微鏡用戶帶來便利。

膠體金二抗來自荷蘭的Aurion公司，這是一家專業(yè)的免疫金試劑的生產(chǎn)廠家，過去的幾年中，Aurion的產(chǎn)品線不斷壯大，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，包括了光鏡、電鏡方面的免疫金試劑，產(chǎn)品線已經(jīng)形成：電鏡方面的銀加強(qiáng)試劑、超微Fab片段、封閉試劑、Donkey的免疫金標(biāo)記試劑等等。

提供美國EMS公司的鍍膜儀（噴金儀）、輝光放電儀、低溫灰化儀等等電子顯微鏡周邊儀器，以及電鏡銅網(wǎng)、支持膜、微珊、樹脂包埋劑等等試劑耗材。

來自英國的抗原修復(fù)鍋和新型的免疫佐劑給更大病理研究和制藥企業(yè)帶來福音。

海德生物代理國外產(chǎn)品的同時，也在某些領(lǐng)域進(jìn)行著積極的探索和研究，已經(jīng)研制出新型試劑和科研工具，我們將會不斷的推出緊跟時代發(fā)展的產(chǎn)品給廣大的科研工作者。

展開

櫻花Tissue－Tek系列包埋劑、櫻花包埋模具、解剖刀
Biotium公司熒光染料
Dumont公司高級鑷子
Aurion公司膠體金
ESCO品牌系列玻片
NUNC公司培養(yǎng)腔室
電子顯微鏡相關(guān)的銅網(wǎng)、支持膜、樣品臺、標(biāo)準(zhǔn)樣
Biospec公司組織研磨器系列

詳細(xì)信息 在線詢價

EMS300R T 大樣本離子濺射鍍膜儀（通用儀器）Large Chamber Sputter Coaters

大樣本離子濺射鍍膜儀（通用儀器）適合SEM（掃描電鏡）、FE-SEM（場發(fā)射掃描電鏡）、TEM（透射電鏡）。EMS300R T 與EMS150R T相似，明顯區(qū)別是EMS300R T腔室足夠大，達(dá)到203mm，采用旋轉(zhuǎn)真空泵抽真空；此外，它配備三個獨(dú)立的濺射頭，確保靶材粒子在大樣本上的沉積效果。適合濺射不易氧化的貴金屬如金、金/鈀、鉑等。（注意：既能濺射不易氧化金屬，又能濺射易氧化金屬，另見EMS300T T）。

特征參數(shù)：

1、可以進(jìn)行超大樣本（直徑至203mm）的金屬鍍膜

2、三個濺射頭確保濺射沉積質(zhì)量

3、單靶材選擇功能，可以進(jìn)行小樣本鍍膜

4、多種金屬靶材比如金、金/鈀、鉑等可選

5、選擇裝配膜厚監(jiān)測儀可以精確控制膜厚

6、全自動觸摸屏控制，快速數(shù)字輸入，操作簡便

7、可以儲存不同用戶的程序

8、能夠記錄100個鍍膜細(xì)節(jié)

9、真空自動控制，且具有真空保持功能

10、落入式樣品臺拆裝方便（標(biāo)配是旋轉(zhuǎn)樣品臺）

11、 zui長60分鐘不間斷鍍膜能力

12、符合人體工程學(xué)的整體注塑機(jī)身

13、電氣符合CE要求

14、三年質(zhì)保

樣品臺

EMS300R T有多種型號的樣品臺可以選擇，用于滿足目前大部分需求。落入式設(shè)計使得不同型號的樣品臺之間更換簡便，樣品臺除了行星臺外其高度均可調(diào)，旋轉(zhuǎn)速度在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)可調(diào)。

扁平樣品臺，用于晶圓的鍍膜（152mm-203mm），標(biāo)配
旋轉(zhuǎn)樣品臺，50mm，不能傾斜
旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺，50mm，高度可調(diào)（靶材與樣本之間的距離在30-80mm之間可調(diào)），傾斜角度在0-30度之間
用于撥片的旋轉(zhuǎn)臺

加高腔室：需要時可以得到（付費(fèi)）

儀器參數(shù)：

儀器外形尺寸	585mm W x 470mm D x 410mm H （total height with coating head open: 650mm）
重量	36.4kg
包裝尺寸	725mm W x 660mm D x 680mm H （44.8kg）
工作腔室	高硼硅玻璃283mm ID x 127mm H
安全保護(hù)	整體PET套筒
顯示	145mm x 320mm x 240mm TFT彩顯
使用者界面	直觀的圖形界面，觸摸鍵。記憶功能：維護(hù)提醒及zui后100個鍍膜方案日志記錄
濺射靶材	標(biāo)配三個57 mm Ø x 0.1 mm金靶（SC502-314A）

真空

旋轉(zhuǎn)真空泵	50L/m two-stage rotary pump with oil mist filter. Order separay, 91005.
真空監(jiān)測	皮拉尼測量
極限真空度	潔凈系統(tǒng)可達(dá) 2x10-2 mbar，充氮?dú)?/p>
樣品臺	標(biāo)配晶圓樣品臺，152mm-203mm，旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)。

濺射	根據(jù)鍍膜厚度或內(nèi)置的計時器，濺射電流范圍在0-80mA ，zui長濺射時間不超過60分鐘

其它重要信息

需要?dú)怏w

氬氣 99.999%，氮?dú)饪蛇x（排氣時需要）

電源

90-250V 50/60Hz 1,400VA including RV3 rotary pump power.

（注意電壓的選擇）

電氣標(biāo)準(zhǔn)

符合電氣CE認(rèn)證要求

訂購信息：

產(chǎn)品貨號

產(chǎn)品

產(chǎn)品規(guī)格

EMS300R T

EMS300R T 大樣品離子濺射鍍膜儀

Large-Chamber-Rotary-Pumped Sputter Coater,

fitted with three sputtering heads to ensure

even metaldeposition. Include three

57mm Ø x 0.3mm gold （Au） sputter targets.

A flat rotation stage for 8”/203 mm/and 6”/152 mm

wafers is fitted as standard

EACH

91005

愛德華旋轉(zhuǎn)真空泵（單獨(dú)購買）Edwards RV5 90L/s two-stage

rotary pump, with vacuum hose, coupling kit and

oil mist filter

EACH

更多信息請：海德公司hedebio

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