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納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 佛山微邁科技有限公司
  • 品牌 佛山微邁
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/3/12 16:04:26
  • 訪問次數(shù) 10

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


佛山微邁科技有限公司研發(fā)團隊成立于2002年,與廈門大學(xué)薩本棟微米納米科學(xué)技術(shù)研究院、廣東工業(yè)大學(xué)精密電子制造技術(shù)與裝備國家重點實驗室聯(lián)合合作,專注于靜電紡絲納米纖維、納米干冰雪花清洗、閃蒸焦耳熱、EHD電流體噴印等技術(shù)裝備研發(fā)、制造與銷售公司產(chǎn)品廣泛運用于應(yīng)用于環(huán)保過濾分離,新能源,電子信息、生物醫(yī)藥、防水透氣和催化材料等新材料領(lǐng)域,同時,公司多個產(chǎn)品服務(wù)于精密加工、半導(dǎo)體、光學(xué)器件的輔助加工。研發(fā)團隊自成立以來,先后承擔國家、省市級科研項目多項,并獲得國家科技進步二等獎、國家發(fā)明二等獎、省發(fā)明一等獎等多項獎勵。公司始終秉持技術(shù)革新、服務(wù)客戶的理念,為客戶創(chuàng)造更多有價值的產(chǎn)品,服務(wù)好客戶,公司建立了精密裝備檢測中心、納米纖維試驗中心等多個研發(fā)平臺。歡迎世界各地的朋友前來交流洽談合作。

 

 

 

 

 

靜電紡絲機,閃蒸焦耳熱設(shè)備

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
以顆粒狀的干冰作為清洗介質(zhì),通過壓縮空氣將干冰微粒高速噴向清洗物表面,使清洗物表面的污垢冷凍至脆化并爆裂,干冰微粒通過撞擊作用滲透到污垢及基層材料之間,隨即升華,體積瞬時增大800倍,迫使污垢與基層材料脫離,達到清洗的目的。
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
單噴頭干冰清洗工作圖
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
單噴頭干冰清洗速度壓力仿真干冰清洗原理示意圖
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
序號清洗方法異物粒子祛除膜層祛除對物件的損傷干燥工序環(huán)境污染難題
濕法1純水一般較差一般水膜再著附,金屬元素殘留
2有機溶劑一般較好較大有機溶劑再著附,溶劑后處理
干法3納米干冰很好較低清洗面積較小
4超聲波一般一般固體異物,微細顆粒難除凈
5空氣一般一般固體異物,微細顆粒難除凈
6大氣等離子一般較大清洗能力較差
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
型號半導(dǎo)體清洗機WMGB01
外形尺寸450×500×300
重量20Kg
電源220V 50Hz 單相
功率2kW
CO2噴射系統(tǒng)
CO2液態(tài)
CO2壓力≥5.5MPa
噴嘴規(guī)格0.1mm~4mm
CO2消耗量50~200g/min
CO2恒溫系統(tǒng)
介質(zhì)-
容量-
溫度調(diào)節(jié)范圍-
CO2增壓系統(tǒng)
驅(qū)動介質(zhì)-
驅(qū)動氣壓-
增壓比-
增壓量-
CDA輔助系統(tǒng)
CDA氣體壓縮空氣/氮氣
CDA壓力0.1~0.8MPa
CDA溫度調(diào)節(jié)選配


納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備


項目外觀

孔內(nèi)清洗效果

EDX檢測殘渣

孔內(nèi)清洗效果

(鋁層厚度,SEM檢測鋁層)

效果
干冰清洗前表面泛白孔內(nèi)有殘渣鋁層4.5um——————
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
干冰清洗后表面干凈孔內(nèi)無殘渣鋁層4.3um

清洗效果理想

對鋁層無腐蝕

結(jié)合力:5.2N/cm

納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
高壓水槍清洗后表面干凈孔內(nèi)有銅屑鋁層4.5um

①清洗效果理想

孔內(nèi)有銅屑

結(jié)合力:4.5N/cm

納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備


項目孔內(nèi)清洗效果(EDX檢測殘渣)
干冰清洗前
1
2
3
元素分析
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
干冰清洗后
1
2
3
元素分析
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
高壓水槍清洗后
1
2
3
元素分析
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備





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