納米干冰半導(dǎo)體清洗設(shè)備
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 佛山微邁科技有限公司
- 品牌 佛山微邁
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/3/12 16:04:26
- 訪問次數(shù) 10
產(chǎn)品標簽
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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以顆粒狀的干冰作為清洗介質(zhì),通過壓縮空氣將干冰微粒高速噴向清洗物表面,使清洗物表面的污垢冷凍至脆化并爆裂,干冰微粒通過撞擊作用滲透到污垢及基層材料之間,隨即升華,體積瞬時增大800倍,迫使污垢與基層材料脫離,達到清洗的目的。
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單噴頭干冰清洗工作圖 | |
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單噴頭干冰清洗速度壓力仿真 | 干冰清洗原理示意圖 |

類 | 序號 | 清洗方法 | 異物粒子祛除 | 膜層祛除 | 對物件的損傷 | 干燥工序 | 環(huán)境污染 | 難題 |
濕法 | 1 | 純水 | 一般 | 較差 | 一般 | 要 | 差 | 水膜再著附,金屬元素殘留 |
2 | 有機溶劑 | 一般 | 較好 | 較大 | 要 | 大 | 有機溶劑再著附,溶劑后處理 | |
干法 | 3 | 納米干冰 | 很好 | 易 | 較低 | 無 | 無 | 清洗面積較小 |
4 | 超聲波 | 一般 | 難 | 一般 | 無 | 無 | 固體異物,微細顆粒難除凈 | |
5 | 空氣 | 一般 | 難 | 一般 | 無 | 無 | 固體異物,微細顆粒難除凈 | |
6 | 大氣等離子 | 易 | 一般 | 較大 | 無 | 無 | 清洗能力較差 |

型號 | 半導(dǎo)體清洗機WMGB01 |
外形尺寸 | 450×500×300 |
重量 | 20Kg |
電源 | 220V 50Hz 單相 |
功率 | 2kW |
CO2噴射系統(tǒng) | |
CO2 | 液態(tài) |
CO2壓力 | ≥5.5MPa |
噴嘴規(guī)格 | 0.1mm~4mm |
CO2消耗量 | 50~200g/min |
CO2恒溫系統(tǒng) | |
介質(zhì) | - |
容量 | - |
溫度調(diào)節(jié)范圍 | - |
CO2增壓系統(tǒng) | |
驅(qū)動介質(zhì) | - |
驅(qū)動氣壓 | - |
增壓比 | - |
增壓量 | - |
CDA輔助系統(tǒng) | |
CDA氣體 | 壓縮空氣/氮氣 |
CDA壓力 | 0.1~0.8MPa |
CDA溫度調(diào)節(jié) | 選配 |
項目 | 外觀 | 孔內(nèi)清洗效果 (EDX檢測殘渣) | 孔內(nèi)清洗效果 (鋁層厚度,SEM檢測鋁層) | 效果 |
干冰清洗前 | 表面泛白 | 孔內(nèi)有殘渣 | 鋁層4.5um | —————— |
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干冰清洗后 | 表面干凈 | 孔內(nèi)無殘渣 | 鋁層4.3um | ①清洗效果理想 ②對鋁層無腐蝕 ③結(jié)合力:5.2N/cm |
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高壓水槍清洗后 | 表面干凈 | 孔內(nèi)有銅屑 | 鋁層4.5um | ①清洗效果理想 ②孔內(nèi)有銅屑 ③結(jié)合力:4.5N/cm |
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項目 | 孔內(nèi)清洗效果(EDX檢測殘渣) | |||
干冰清洗前 | 1 | 2 | 3 | 元素分析 |
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干冰清洗后 | 1 | 2 | 3 | 元素分析 |
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高壓水槍清洗后 | 1 | 2 | 3 | 元素分析 |
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