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FluxDancer 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀-東譜科技

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東譜科技 Oriental Spectra

東譜科技(品牌商標(biāo):Oriental Spectra)是一家專業(yè)的光電譜學(xué)類儀器及技術(shù)方案服務(wù)商,由國(guó)內(nèi)外高校專業(yè)研究人員和行業(yè)工程師聯(lián)合發(fā)起。團(tuán)隊(duì)核心成員均獲得光機(jī)電類碩博士學(xué)位,具有5-10年國(guó)際實(shí)驗(yàn)室及企業(yè)研發(fā)經(jīng)驗(yàn),擁有出色的光電子前沿科學(xué)研究及光機(jī)電產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的實(shí)力。自主研發(fā)的系列譜學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué)、食品科學(xué)、環(huán)境科學(xué)、石油化工、地質(zhì)學(xué)等領(lǐng)域。公司經(jīng)過(guò)多年發(fā)展,目前擁有應(yīng)用于光電子器件性能表征分析的光電產(chǎn)品線和前沿光譜技術(shù)(瞬態(tài)、超快)為核心的光譜產(chǎn)品線。具備為太陽(yáng)能電池、光伏材料與器件、發(fā)光材料與器件、光催化、半導(dǎo)體材料等行業(yè)研究需要提供對(duì)應(yīng)表征測(cè)試分析儀器及測(cè)試方案的能力。

光電產(chǎn)品線

□ 電致/光致發(fā)光量子效率測(cè)量?jī)xHiYield

□ 電致發(fā)光測(cè)量?jī)xNovaLum

□ 多通道發(fā)光/光伏器件穩(wěn)定性測(cè)量?jī)xEL-Lab

□ 太陽(yáng)能電池光伏特性測(cè)量?jī)xSunshine

□ 瞬態(tài)光電流/光電壓/光電荷測(cè)量?jī)xTranPVC

□ 多功能光電器件測(cè)量系統(tǒng)UltraTran

□ 飛行時(shí)間法遷移率測(cè)量?jī)xFlyTOF

□ 多通道光伏器件穩(wěn)定性測(cè)量?jī)xPVLab

□ 光探測(cè)器綜合測(cè)量?jī)xFineDet 990

□ 有機(jī)發(fā)光分子取向儀AngleLum

□ 半導(dǎo)體光源Pina/NanoQ/Mic/Tuna

□ 多功能樣品夾具HiSam

□ 氣體變溫快速換樣系統(tǒng)MagicK

光譜產(chǎn)品線

□ 光電一體化時(shí)間分辨光譜儀HiLight 990

□ 穩(wěn)瞬態(tài)熒光光譜儀HiLight HS15

□ 熒光壽命測(cè)量?jī)xHiLight T30

□ 瞬態(tài)電致發(fā)光光譜儀HiLight E60

□ 熒光光譜儀HiLight S20

□ 寬時(shí)域時(shí)間分辨單光子計(jì)數(shù)器HiTime

□ 納秒瞬態(tài)吸收(激光閃光光解)光譜儀NanoFly

□ 飛秒瞬態(tài)吸收光譜儀FemtoFly





光譜儀、光電檢測(cè)儀器、激光器、技術(shù)服務(wù)

價(jià)格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子,制藥,綜合

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

FluxDancer半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是由Oriental Spectra精心打造的高精度測(cè)試設(shè)備,專為測(cè)量和分析半導(dǎo)體器件的電學(xué)特性而設(shè)計(jì)。這款儀器融合了眾多前沿測(cè)量技術(shù),包括電源、電壓表、電流表、LCR表和開(kāi)關(guān)矩陣等,使其能夠執(zhí)行電流-電壓(IV)和電容-電壓(CV)測(cè)量,以及快速脈沖IV測(cè)量等多種測(cè)試。

FluxDancer在于其對(duì)測(cè)試精度和分辨率的追求。它不僅能夠提供精確的IV和CV表征,而且廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體研發(fā)、工藝制程開(kāi)發(fā)、器件可靠性測(cè)試和光電器件測(cè)試等領(lǐng)域。與傳統(tǒng)的多儀器組合相比,F(xiàn)luxDancer的集成設(shè)計(jì)確保了更高的測(cè)量精度和分辨率。

在技術(shù)規(guī)格上,F(xiàn)luxDancer展現(xiàn)了其性能。它支持廣泛的電壓和電流測(cè)量范圍,具備高精度和靈敏度,能夠檢測(cè)到低至飛安級(jí)別的微小電流,并能夠進(jìn)行高達(dá)兆赫茲頻率的CV測(cè)量。此外,F(xiàn)luxDancer還具備強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理能力,可以在測(cè)試后立即進(jìn)行器件特性分析,支持多種數(shù)據(jù)保存方式,便于用戶進(jìn)行后續(xù)的分析研究或直接導(dǎo)入建模軟件進(jìn)行模型提取和特性分析。

FluxDancer的適用性非常廣泛,能夠適應(yīng)各種擴(kuò)展性的測(cè)試場(chǎng)景。例如,它可以與高低溫恒溫器耦合,進(jìn)行變溫器件性能測(cè)試;與顯微測(cè)試系統(tǒng)耦合,進(jìn)行微納器件測(cè)試;與手套箱測(cè)試耦合,實(shí)現(xiàn)測(cè)試過(guò)程的惰性氣體保護(hù);與真空發(fā)生器測(cè)試耦合,實(shí)現(xiàn)真空測(cè)試;與磁學(xué)部件耦合,檢測(cè)磁場(chǎng)影響下的電學(xué)性能;與晶圓測(cè)試平臺(tái)耦合,實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓及后續(xù)半導(dǎo)體模組的電學(xué)測(cè)試等。

FluxDancer半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是半導(dǎo)體行業(yè)中高精度測(cè)試工具,它性能和廣泛的應(yīng)用范圍,為科研人員和工程師提供了一個(gè)可靠的測(cè)量平臺(tái),助力用戶在半導(dǎo)體領(lǐng)域的探索與創(chuàng)新。

產(chǎn)品特點(diǎn)

□ 電流-電壓(IV)、電容-電壓(CV)、脈沖IV測(cè)試等全面功能;

□ 高精度和高分辨率的測(cè)量能力;

□ 快速測(cè)量和分析,支持多種測(cè)量模式;

□ 模塊化設(shè)計(jì),易于升級(jí)和擴(kuò)展:配置>10個(gè)插槽,支持吸收電流至4A;

□ 適用器件、材料,有源/無(wú)源元器件等類型的電子器件;

□ 直觀的用戶界面,簡(jiǎn)化操作流程;

□ 支持自動(dòng)化測(cè)試和數(shù)據(jù)分析。

產(chǎn)品應(yīng)用

□ 新型半導(dǎo)體

□ 二極管

□ CMOS 晶體管

□ 雙極晶體管(BJT)

□ 分立器件

□ 存儲(chǔ)器

□ 功率器件

□ 光子檢測(cè)器件

□ 太陽(yáng)能電池

□ 發(fā)光二極管器件

□ 薄膜晶體管

□ 二維材料

□ EMS

□ 傳感器

□ 納米器件

功能參數(shù)

規(guī)格配置
主要技術(shù)指標(biāo)
I-V 源測(cè)量單元 (SMU)大功率SMU
  • 電壓范圍:± 100 V-±200V

  • 直流電流范圍:± 1A

  • 脈沖電流范圍:± 2A-±3A

  • 最小電流分辨率:0.1 fA

  • 最小電壓分辨率:100nV

  • 電流測(cè)量精度分辨率:10fA

  • 電壓測(cè)量精度分辨率:0.5uV

  • 直流功率:20W或者40W可選

  • 脈沖功率:480W (電壓160V,電流3A)

  • 脈沖模式最小寬度:50 us,可輸出50us脈沖測(cè)試

  • 支持四象限測(cè)試

  • 支持2線或4線測(cè)試

  • 支持IV-T測(cè)試模式,采樣率550ns每點(diǎn),數(shù)據(jù)存儲(chǔ)點(diǎn)可以設(shè)置為10K,1M,10M或100M

中等功率直流SMU
  • 電壓范圍:±40-±50 V

  • 電流范圍:±1.5A

  • 最小電流分辨率:400 pA

  • 最小電壓分辨率:4 uV

  • 電流測(cè)試分辨率:10fA

  • 電壓測(cè)量分辨率:0.5uV

  • 支持四象限測(cè)試

  • 支持2線或4線測(cè)

小功率直流SMU
  • 電壓范圍:±14 V

  • 電流范圍:±40 mA

  • 最小電流分辨率:200 nA

  • 最小電壓分辨率:60 uV

  • 電流測(cè)量分辨率:10fA

  • 電壓測(cè)量分辨率:0.5uV

  • 支持四象限測(cè)試

  • 支持2線或4線測(cè)試

支持源表數(shù)量
  • 1-5可選

前置放大
  • 可配置前置放大,SMU電流測(cè)量分辨率提高至0.1fA

C-V 多頻率電容單元 (CVU)
  • AC 阻抗測(cè)量 (C-V, C-f, C-t)

  • 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍,最小頻率分辨率1mHz

  • 電容測(cè)試精度1pF@1MHz≤±0.3%,10pF@1MHz≤±0.15%,10pF@100kHz≤±0.2%

  • ±30 V (60 V差分),內(nèi)置 DC 偏置源可以

  • 擴(kuò)展到 ± 210 V(420 V差分)

  • 具有IV、CV自動(dòng)切換測(cè)量功能

  • 支持C-V,C-f電容測(cè)量掃描方

脈沖式I-V 超快速脈沖測(cè)量單元 (PMU)
  • 兩個(gè)獨(dú)立的高速脈沖 I-V 源和測(cè)量通道

  • 200 MSa/s,5 ns 樣點(diǎn)間隔

  • ±40 V (80 V p-p ),±800 mA

  • 瞬態(tài)波形捕獲模式

  • 任意波形發(fā)生器,10 ns 可編程分辨

高壓脈沖發(fā)生器單元 (PGU)
  • 兩個(gè)高速脈沖電壓源通道

  • ±40 V (80 V p-p ),± 800 mA

  • 任意波形發(fā)生器,10 ns 可編程分辨率

I-V/C-V 多通道開(kāi)關(guān)模塊 (CVIV)
  • 在 I-V 和 C-V 之間切換,無(wú)需抬起探針

  • 任意端子C-V測(cè)量,無(wú)需抬起探針

  • 支持 ±210 V DC 偏置

1/f噪聲測(cè)試模塊(FNU)
  • 速度8~10s/bias

  • 帶寬1Hz~100KHz

  • 噪聲本底:2*1028A2/Hz

  • 全帶寬下的偏壓為±200

電氣輸入
  • 100V~240V,50/60Hz

  • 可選配UPS不間斷電

軟件系統(tǒng)
軟件
  • Windows操作系統(tǒng)(含嵌入式PC)

  • 圖形化全套測(cè)試軟件

  • 樣品放置完畢,僅點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可完成測(cè)試,包括對(duì)儀表進(jìn)行控制和提取測(cè)試數(shù)據(jù),支持曲線追蹤功能,實(shí)時(shí)觀察器件擊穿和飽和情況

  • 支持太陽(yáng)能電池、發(fā)光器件、MOSFET、BJT雙極器件、晶體管器件、晶體管電容器、電阻器、二極晶管等器件的測(cè)試?yán)?br style="box-sizing: border-box;"/>





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