KLA Filmetrics F50薄膜厚度測(cè)量?jī)x
| 參考價(jià) | ￥50000-￥999999/臺(tái) |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
- 品牌KLA-Tencor
- 型號(hào)
- 所在地香港特別行政區(qū)
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間2025/3/10 8:08:33
- 訪問(wèn)次數(shù) 41
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 50萬(wàn)-100萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,汽車,電氣,綜合 |
自動(dòng)化薄膜測(cè)繪
KLA Filmetrics F50薄膜厚度測(cè)量?jī)x的產(chǎn)品能以每秒測(cè)繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測(cè)繪薄膜厚度。一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺(tái)可接受標(biāo)準(zhǔn)和客制化夾盤，樣品直徑可達(dá)450毫米。(耐用的平臺(tái)在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬(wàn)次的量測(cè)!)
測(cè)繪圖案可以是極座標(biāo)、矩形或線性的，您也可以創(chuàng)造自己的測(cè)繪方法，并且不受測(cè)量點(diǎn)數(shù)量的限制。內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測(cè)繪圖案。
不同的KLA Filmetrics F50薄膜厚度測(cè)量?jī)x器是根據(jù)波長(zhǎng)范圍來(lái)加以區(qū)分的。 標(biāo)準(zhǔn)的 F50是受歡迎的產(chǎn)品。 一般較短的波長(zhǎng) (例如， F50-UV) 可用于測(cè)量較薄的薄膜，而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)則可以用來(lái)測(cè)量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
包含的內(nèi)容：
集成光譜儀/光源裝置
光纖電纜
4", 6" and 200mm 參考晶圓
TS-SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn)
BK7 參考材料
整平濾波器 (用于高反射基板)
真空泵
備用燈
型號(hào)規(guī)格
| 型號(hào) | 厚度范圍 | 波長(zhǎng)范圍 |
| F50 | 20nm-70μm | 380-1050nm |
| F50-UV | 5nm-40μm | 190-1100nm |
| F50-NIR | 100nm-250μm | 950-1700nm |
| F50-EXR | 20nm-250μm | 380-1700nm |
| F50-UVX | 5nm-250μm | 190-1700nm |
| F50-XT | 0.2μm-450μm | 1440-1690nm |
| F50-s980 | 4μm-1mm | 960-1000nm |
| F50-s1310 | 7μm-2mm | 1280-1340nm |
| F50-s1550 | 10μm-3mm | 1520-1580nm |
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