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Mini E-Beam Evaporator小型電子束蒸發(fā)器
- 公司名稱 杭州雷邁科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/2/1 10:00:16
- 訪問次數(shù) 141
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分光測(cè)色儀，鐵電測(cè)試儀，光學(xué)輪廓儀，原子力顯微鏡，光譜儀，測(cè)配色系統(tǒng)等實(shí)驗(yàn)室儀器和設(shè)備
Mini E-Beam Evaporator小型電子束蒸發(fā)器是一種用于高精度薄膜沉積的edge-cutting工具。它適用于研究和生產(chǎn)環(huán)境，這種緊湊的系統(tǒng)利用電子束直接加熱坩堝中的蒸發(fā)物，能夠以的控制力沉積金屬。與傳統(tǒng)的熱蒸發(fā)方法相比，Mini E-Beam Evaporator具有更高的效率，對(duì)基底的熱負(fù)荷更低，并且能夠同時(shí)共蒸發(fā)多種材料，使其成為各種涂層應(yīng)用中多功能且可靠的解決方案。
Evap-4兼容超高真空（UHV），可以單獨(dú)提供，也可以與Nikalyte定制的任何PVD系統(tǒng)集成。
關(guān)鍵特性：
· 最多可共蒸發(fā)4種材料
· 緊湊的源設(shè)計(jì)
· 對(duì)基底的熱負(fù)荷低
· 集成4通道電源
· 用于速率監(jiān)測(cè)的通量測(cè)量
· 兼容超高真空
· 可烘烤至250°C
· 包括手動(dòng)或氣動(dòng)控制快門的選擇
· 可定制的真空內(nèi)長(zhǎng)度
Mini E-Beam Evaporator小型電子束蒸發(fā)器規(guī)格：
· 安裝法蘭：NWCF63
· 真空內(nèi)長(zhǎng)度：標(biāo)準(zhǔn)300毫米（可定制長(zhǎng)度）
· 真空內(nèi)直徑：57毫米
· 坩堝體積：1000毫米3（1立方厘米）
· 坩堝材料：鉬（Mo）、鎢（W）、石墨（Gr）
· 坩堝襯里：氧化鋁（Al?O?）、氮化硼（PBN）
· 超高真空兼容性：是，可烘烤至250攝氏度
· 冷卻液流量：Min.1.0升/分鐘
· 功率：?jiǎn)蜗?/span>100-240伏交流電，50/60赫茲
· 快門：內(nèi)置手動(dòng)或可選氣動(dòng)操作
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