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LPE機(jī)臺(tái)測(cè)溫儀EX-S-3FP

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 北京宇冠世紀(jì)科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2025/1/14 17:28:14
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 272

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北京宇冠世紀(jì)科技有限公司（Beijing Infrared Technology Co., Ltd），2018年成立，位于北京市昌平區(qū)，經(jīng)國(guó)家對(duì)外經(jīng)濟(jì)貿(mào)易合作部審核批準(zhǔn),享有進(jìn)出口經(jīng)營(yíng)權(quán)。主要經(jīng)營(yíng)與紅外相關(guān)的溫度檢測(cè)儀器和氣體分析儀器，包括：包括紅外測(cè)溫儀，紅外熱成像儀，黑體輻射源，非分光紅外氣體檢測(cè)儀，光聲光譜氣體監(jiān)測(cè)儀；

我們代理多家的紅外產(chǎn)品包括Basf、Process Sensors、Kleiber等，并提供相應(yīng)產(chǎn)品的檢測(cè)和維修服務(wù)。

我們致力于為客戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)化、差異化、實(shí)用化的紅外產(chǎn)品和服務(wù)。公司擁有一批資深技術(shù)人員，具有近20年的豐富應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，可為不同應(yīng)用領(lǐng)域的客戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)的紅外產(chǎn)品和應(yīng)用解決方案。

 

 

 

紅外測(cè)溫儀、紅外熱像儀、高溫計(jì)、黑體爐

產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
儀器種類(lèi) 在線(xiàn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子,航天

主要特點(diǎn)

  • 使用短波進(jìn)行低溫測(cè)量

  • 精密度高, 分辨率達(dá) 0.01 oC , 測(cè)溫精度1.5 oC

  • 測(cè)溫重復(fù)性 0.1 oC , 溫漂不高于 0.1 oC / 年

  • 測(cè)量速度達(dá) 1,000 值 / 秒

  • 數(shù)字/或模擬輸出, 易于集成到控制系統(tǒng)



詳細(xì)說(shuō)明

LPE機(jī)臺(tái)測(cè)溫儀EX-S-3FP系 BASF EXACTUS 系列高溫計(jì)產(chǎn)品，BASF Exactus®的原創(chuàng)紅外技術(shù)在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優(yōu)勢(shì)：高度敏感的電子學(xué)和優(yōu)良的光學(xué)技術(shù)意味著可以用更短波長(zhǎng)的探測(cè)器來(lái)測(cè)量輻射能，這減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差。此外，高速測(cè)量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優(yōu)異性能， 由此提供了更好的晶圓溫度監(jiān)控和生產(chǎn)工藝。

BASF Exactus®系列測(cè)溫設(shè)備已廣泛用于快速退火、快速氧化、薄膜沉積等半導(dǎo)體工藝，并被集成在多家MOCVD設(shè)備以及其他RTP設(shè)備上如：AIXTRON, LPE，Premtek等。另外，由于其具有很高的測(cè)溫精度和穩(wěn)定性，也被一些高溫黑體爐廠(chǎng)家作為溫度標(biāo)準(zhǔn)器使用，如Thermogauge公司。

LPE機(jī)臺(tái)測(cè)溫儀EX-S-3FP整套配置包含EI110傳感器，光纖，IFD5數(shù)字模塊，IFA5模擬模塊，綠激光筆，配套線(xiàn)纜及相應(yīng)的安裝支架. 精度高達(dá)1.5℃, 重復(fù)性0.1℃。

典型應(yīng)用

  • RTP控溫

  • MOCVD控溫

  • MBE控溫

  • 溫度標(biāo)準(zhǔn)器



技術(shù)參數(shù)

測(cè)量參數(shù)
溫度范圍:


130 – 2200℃

工作波長(zhǎng):

700 - 1650 nm

測(cè)量精度:優(yōu)于1.5℃ 或 0.15%測(cè)值
分辨率:

最高0.01℃

重復(fù)精度:0.1℃
溫度漂移:最大 0.10℃/年
環(huán)境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度
測(cè)量速率:最高1000 測(cè)值/秒, 響應(yīng)時(shí)間1ms
鏡頭固定焦距，光路可定制。
物理參數(shù)
供電:12-28 VDC, 3W
存儲(chǔ)溫度:-20 to 70℃
環(huán)境溫度:

電子器件: 0 - 60℃
惡劣環(huán)境下專(zhuān)用鏡頭: 0 - 250℃
高溫光纖: 0 - 250℃

外殼材質(zhì):傳感器和鏡頭外殼，304 不銹鋼/鋁；
氣吹外殼，鋁；
惡劣環(huán)境專(zhuān)用鏡頭: 304 不銹鋼；
重量:標(biāo)準(zhǔn)高溫計(jì)，0.510 kg (1.125 lbs.)
光纖傳感器，0.198 kg (7 oz.)





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