CTRM750 共聚焦熱反射式顯微鏡
- 公司名稱 Nanoscope Systems lnc
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) CTRM750
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/1/12 12:36:32
- 訪問次數(shù) 406
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,電子,航天 |
|---|
CTRM750 熱反射式顯微鏡是韓國Nanoscope Systems 公司專門為半導(dǎo)體研究等所專門研發(fā)的一款顯微鏡。整合了共聚焦和熱反射式模塊，在測量樣品表面3D輪廓同時(shí)可以測量樣品表面的實(shí)際熱量分布。其熱反射式模塊采用熱反射式的原理，搜集目標(biāo)樣品亮度隨溫度的變化值，并且利用函數(shù)得到熱反射系數(shù)（κ）， 將熱反射系數(shù)（κ）輸入系統(tǒng)中進(jìn)行測量就可以得到目標(biāo)樣品熱分布圖像的實(shí)際溫度值。
Features & Benefits（性能及優(yōu)勢）：
1. 高分辨無損傷光學(xué)3D測量
2. 實(shí)時(shí)共聚焦成像
3. 多種光學(xué)變焦
4. 自動(dòng)傾斜補(bǔ)償
5. 雙Z軸掃描
6. 緊湊的模塊尺寸
7. 放式的模塊
8. 操作簡單
主要功能：
共聚焦模塊
1. 3D 輪廓測量
在共聚焦模式下，設(shè)置Z方向的測量范圍，可以獲得樣品表面高清晰的3D 輪廓圖像,并且可以分析樣品在不同溫度下表面膨脹數(shù)據(jù)。
2. 實(shí)時(shí)共聚焦成像
通過Live模式，可以導(dǎo)出樣品實(shí)時(shí)的共聚焦Video.
熱反射成像模塊
1. Synchronous
在Synchronous模式下時(shí),此方法通過匹配信號(hào)源的周期和相機(jī)的測量時(shí)序來獲取熱反射圖像
2. ASynchronous
在Asynchronous模式下時(shí)，此方式下信號(hào)源的生成周期與相機(jī)測量無關(guān)。以此方式測量的圖像隨后通過單獨(dú)的TRMeter 獲得熱分布圖像。
TRViewer（軟件）：
Transient thermal imaging (瞬態(tài)成像)
Application field(應(yīng)用領(lǐng)域）：
Specifications（參數(shù)）：
模塊 | |||||
物鏡 | 倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X |
工作距離 | 34.0 | 33.5 | 20.0 | 13.0 | |
NA | 0.14 | 0.28 | 0.42 | 0.55 | |
共聚焦視野范圍 | Horizontal(um) | 2800 | 1400 | 700 | 280 |
Vertical(um） | 2100 | 1050 | 525 | 210 | |
熱反射視野范圍 | Horizontal(um) | 1330 | 655 | 332 | 133 |
Vertical(um） | 1330 | 655 | 332 | 133 | |
光源（脈沖LED） | 基礎(chǔ)波長 | 430,455,505,530,565,590, 617, 625, 660, 700, 730 nm (12 wavelength) | |||
輸出功率 | 120 ~ 3000 mW (wavelength dependent) | ||||
圖像傳感器 | Scientific CMOS | ||||
Active imaging pixels | 2048x2048 pixel | ||||
Active thermal imaging pixels | 1024x1024 pixel | ||||
空間分辨率 (橫向) | 0.5 um | ||||
熱分辨率 | 1?C | ||||
熱反射成像模式 | Steady state (Asynchronous FFT, 4-Bucket) Transient | ||||
瞬態(tài)模式下的時(shí)間分辨率 | 50 nsec ~ 1 msec | ||||
電加熱盤 | 加熱范圍 | RT to 110?C | |||
加熱/冷卻速率 | · 2min. to heat from RT to 90?C | ||||
X,Y,Z 載物臺(tái) | 行程范圍： 18x18x14mm | ||||
電動(dòng)Z 載物臺(tái) | 行程范圍： 60mm | ||||
X，Y載物臺(tái)用于掃描頭移動(dòng) | 行程范圍： 13x13mm | ||||
PC | 電壓 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | |||
電流 | 500W Max | ||||
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