KAKUHUNTER寫真化學 紅外透射膜厚監(jiān)測儀

KAKUHUNTER寫真化學 紅外透射膜厚監(jiān)測儀

 特征

紅外透射膜厚監(jiān)測儀可測量電池隔膜等半透明片材、黑色抗蝕劑、硅等低反射膜的厚度。這是一款紅外吸收式薄膜測厚儀，可用于從實驗室水平到生產過程中100%在線檢測的所有情況。

這是一種紅外薄膜測厚儀，采用由緊湊型鏡面探頭組成的透射光學系統(tǒng)，可通過 100 多個波長的光譜同時精確測量薄膜厚度、密度和成分等多個參數(shù)。

1測量半透明片、低反射膜、硅等

的厚度，這是使用光學干涉測量法難以做到的。

2小型光纖探頭

采用小型30mm反射探頭，

可安裝在設備或生產線內的狹小空間內。另外，探頭

與主體僅通過光纖

連接，因此具有優(yōu)異的耐環(huán)境性。

3高速測量100多個點同時采樣

950至1650 nm的近紅外波長

可以實現(xiàn)短至 1 毫秒的高速采樣。

可在生產線上進行實時檢測和測量。

由于不會旋轉干涉濾光片等，因此具有出色的耐用性和可靠性。

4厚度測量重復性0.1%以下（3σ）

5兩種可選的測量算法

測量算法校準樣品測量目標

蘭伯特-比爾法 1 種 僅厚度 

最小二乘回歸法 2種以上 多重（厚度、密度、特定成分的混合量等） 

測量示例（鋰離子電池隔膜）

可以同時測量厚度和涂層重量。

測量示例（硅基板上的黑色抗蝕劑膜厚）

現(xiàn)在可以測量硅基板上黑色抗蝕劑的厚度，這對于使用反射光譜的光學干涉膜厚計來說是很難做到的。

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