本所自開發(fā)RTP快速退火系列產(chǎn)品以來已近30年。自1988年受中科院委托研發(fā)光照快速熱處理設(shè)備以來與清華，北大，浙大，半導(dǎo)體所，微電子所，物理所等高校研究所共同進步，為華為，三安光電，中電科等半導(dǎo)體企業(yè)保駕護航，也被一些海外的教授專家所青睞。如香港理工大學，香港中文大學，香港科技大學。美國堪薩斯州立大學，美國揚斯頓州立大學和新加坡南洋理工大學也有數(shù)臺在科研教學一線。