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PECVD-III-500A-D210 智能型PECVD系統(tǒng)

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      安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)于一體的高科技企業(yè)。

      公司重視技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā),建有超卓的產(chǎn)品研發(fā)中心,擁有一支由多名博士碩士組成的專業(yè)研發(fā)隊伍,累計獲得patent200余項。并通過產(chǎn)學(xué)研合作,與北京大學(xué)南開大學(xué)等多所院校建立聯(lián)合實驗室及研究生聯(lián)合培養(yǎng)基地
      公司專注于新材料裝備工藝開發(fā)及裝備制造,產(chǎn)品門類涵蓋了OLED材料提純專用設(shè)備系列、碳材料制備設(shè)備系列、半導(dǎo)體專用設(shè)備系列及金屬納米顆粒設(shè)備系列四大類共十余個子類,與眾多材料廠商、科研院校等保持長期合作關(guān)系,市場營銷網(wǎng)絡(luò)遍布全球各地。
      連年來,公司相繼被認定為“高新技術(shù)企業(yè)”“專精特新企業(yè)““科技小巨人培育企業(yè)”“石墨烯生長設(shè)備工程技術(shù)研究中心”“瞪羚企業(yè)”“雛鷹企業(yè)”,并接連獲得“中國隱形獨角獸500強”“科技創(chuàng)新獎”“創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)獎”等多項榮譽。

 

 

 

 

 

 

 

 

高溫管式爐,箱式爐,CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng), 等離子清洗機,陶瓷材料燒結(jié)設(shè)備

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

智能型PECVD系統(tǒng)

該設(shè)備主要分為四大部分:多溫區(qū)管式爐、射頻組件、氣路系統(tǒng)、及自動化控制軟件集成系統(tǒng)。

1、開啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,配K型熱電偶,6點控溫;設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可電動開啟方便客戶更換維修反應(yīng)管。

2、氣路系統(tǒng)

可由質(zhì)量流量計精確控制多路氣體按不同流量進行混合配比,另外單獨1路過鼓泡器后進入反應(yīng)管內(nèi)。

3、射頻組件
1000W高性能射頻輝光均勻,可使整個反應(yīng)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)。
4、 智能控制系統(tǒng)          
采用智能PID模糊控制,30段可編程控制。具有超溫和斷偶報警功能。


智能型PECVD系統(tǒng)

最高溫度

1200℃

持續(xù)工作溫度

≤1100℃

升溫速率

≤10℃/min

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能,人機界面加PLC控制,15寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀和軟件實現(xiàn)雙控

加熱總功率

≤15KW

加熱區(qū)尺寸

300+300+300mm

射頻功率

1000W

設(shè)備尺寸

2550*850*1600mm

設(shè)備重量

約600KG



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