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TMS-2000 其他設備晶圓測試儀

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深圳市嘉惠捷科技有限公司基于對國內(nèi)測試儀器市場具體需求狀況和、國內(nèi)儀器行業(yè)發(fā)展趨勢的掌握,依托國外穩(wěn)定的貨源渠道。專注于國內(nèi)電子測試儀器、通信儀器、微波儀器、高頻儀器、光纖通信儀器等進口二手測試儀器的銷售、租賃、回收、維修、校正等業(yè)務。
公司現(xiàn)貨供應惠普(安捷倫)、泰克、安立、愛得萬、橫河、安騰、力科、馬可尼(IFR)、R&S等世界之頻譜分析儀、網(wǎng)絡分析儀、無線綜合測試儀、邏輯分析儀、阻抗分析儀、信號源、信號發(fā)生器、信號分析儀、中高檔示波器、頻率計、電子與負載等電子通用測試儀器及誤碼儀、眼圖儀、光譜分析儀、光時域反射儀(OTDR)、可調(diào)諧激光源、光功率計、光衰減器等光纖通信儀器。 儀器品種繁多,并可提供計量合格證書及壹年保修、終身維護的售后服務。
我公司大量回收閑置二手儀器儀表設備,全部現(xiàn)款交易;對外承接高檔測試儀器儀表的維修和校正服務。
經(jīng)營范圍:二手測試儀器的銷售、租賃、維修、檢測。銷售、維修系列環(huán)境實驗設備。銷售全新系列品牌測試儀器。



網(wǎng)絡分析儀、無線綜合測試儀、邏輯分析儀、阻抗分析儀、信號源、信號發(fā)生器、信號分析儀、中高檔示波器

價格區(qū)間 50萬-80萬 應用領域 電子,綜合

圣德科 TMS-2000 晶圓測試儀

產(chǎn)品概述:
Santec 的新系統(tǒng) TMS-2000 為半導體晶圓厚度的高精度亞納米映射帶來了新的動態(tài)。TMS-2000 采用一種新型激光掃描方法,以前從未在業(yè)界用于晶圓映射,為行業(yè)提供了多項優(yōu)勢;對溫度變化不敏感的精確厚度測量,一個系統(tǒng)不僅可以測量單層硅,還可以測量碳化硅和氮化鎵等功率半導體,以及SOI等多層晶圓,其成本點對于在生產(chǎn)中的廣泛部署具有吸引力。隨著半導體器件尺寸的減小,光刻工藝的公差變得更細,提高了晶圓厚度和場地平面度測量的高精度的重要性。對于非接觸式亞納米重復性測量,業(yè)界一直依賴外差干涉或Fizeau條紋分析系統(tǒng),這些系統(tǒng)在普遍采用方面存在一些缺點。這些目前的解決方案需要正面和背面晶圓照明,對溫度變化和振動敏感,并且復雜性和成本高。Santec TMS-2000 解決了當前解決方案中發(fā)現(xiàn)的所有問題。
特征:
精度高:使用干涉檢測技術進行高精度測量(1nm重復精度)
行業(yè)標準參數(shù):可以分析全局(GFLR、GFLD、GBIR)、站點(SFQR、SFQD、SBIR)、邊緣(ESFQR)
高耐環(huán)境性:由于環(huán)境耐久性,不需要溫度控制或振動對策
緊湊的尺寸:小尺寸,適合多種應用
高速:螺旋掃描(高速、高密度)
優(yōu)勢:
晶圓厚度測量系統(tǒng),可測量晶圓的平整度,重復精度高達1nm。
測量準確,對溫度變化和振動不敏感
亞納米厚度重復性
具有可定制掃描圖案的完整晶圓映射
單面照明
晶圓與晶圓之間的比較
適用于重摻雜硅以及功率半導體和多層晶圓
測量符合SEMI標準
與傳統(tǒng)解決方案相比,具有成本優(yōu)勢





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