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英國KP開爾文探針WF

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昱臣半導體技術(香港)有限公司是專業(yè)的半導體及微電子領域儀器設備供應商,昱臣半導體技術(香港)有限公司所代理的儀器設備廣泛用于高校、研究所、半導體企業(yè)。

昱臣半導體技術(香港)有限公司目前代理的主要產(chǎn)品包括:

- 霍爾效應測試儀(Hall Effect Measurement System);

- 快速退火爐(RTP);

- 回流焊爐,真空燒結爐(Reflow Solder System);

- 探針臺(Probe Station),低溫探針臺(Cryogenic Probe Station);

- 貼片機(Die Bonder),劃片機(Scriber),球焊機/鍥焊機(Wire Bonder);

- 原子層沉積系統(tǒng)(ALD),等離子增強原子層沉積設備(PEALD);

- 磁控濺射鍍膜機(Sputter),電子束蒸發(fā)鍍膜機(E-beam Evaporator),熱蒸發(fā)鍍膜機(Thermal Evaporator),脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD) ;

- 低壓化學氣相沉積系統(tǒng)(LPCVD),等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),快速熱化學氣相沉積系統(tǒng)(RTCVD);

- 反應離子刻蝕機(RIE),ICP刻蝕機,等離子體刻蝕機;

- 致冷機/低溫恒溫器(Cryostat/Cryocooler);

- 加熱臺、熱板、烤膠臺 (Hot Chuck / Hot Plate);

- 掃描開爾文探針系統(tǒng)(Kelvin Probe),光反射膜厚儀(Reflectometer);

- 高溫超導磁體(HTS Magnet),快速場循環(huán)核磁共振弛豫測試儀(FFC Reflexometer);






原子層沉積系統(tǒng),快速退火爐,PECVD,刻蝕機

產(chǎn)地類別 進口 應用領域 化工,電子,綜合

開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置,用于測量導體材料的功函數(shù)(Work Function)或半導體、絕緣表面的表面勢(Surface Potential)。

材料表面的功函數(shù)通常由最上層的1-3層原子或分子決定,所以開爾文探針是的表面分析技術。

我們的開爾文探針系統(tǒng)包括:

□   單點開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境);

□   掃描開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境);

□   超高真空(UHV)開爾文探針;

□   濕度控制的腐蝕開爾文探針;


 

掃描開爾文探針系統(tǒng) (ASKP)

    ASKP系統(tǒng)是一款可以被大多數(shù)客戶所接收掃描開爾文探針系統(tǒng),它是在SKP基礎之上包括了彩色相機/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數(shù)字示波鏡等配置,其規(guī)格如下:

□    2毫米,50微米探針;

□    功函數(shù)分辨率 1-3 meV(2毫米針尖),5-10 meV(50微米針尖);

□    針尖到樣品表面高度可以達到400納米以內;

□    表面勢和樣品形貌3維地圖;

□    探針掃描或樣品掃描選配;

□    彩色相機、調焦鏡頭、TFT顯示器和專業(yè)的光學固定裝置;

□    參考樣品(帶相應的掃描開爾文探針系統(tǒng)的形貌);

□    備用的針尖放大器;

□    24個月超長質保期;




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