所用技術(shù)：光學(xué), 3D, 白光干涉

功能：用于粗糙度測量, 用于平面度測量

應(yīng)用：工業(yè), 用于生產(chǎn)線, 實(shí)驗(yàn)室

配置：臺式

其他特性：非接觸式, 非破壞性

Zygo ZeGage ProHR桌面式光學(xué)輪廓測量儀是用于3D形貌定量測試，和精密機(jī)械表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。它工業(yè)化的設(shè)計(jì)提供快速，精確的測量方案，并且外形緊湊、性價(jià)比高，能夠放在生產(chǎn)車間工作，而不需要振動(dòng)隔離和特殊的隔離裝置。同時(shí)交互式的控制軟件Mx 提供了簡單而精細(xì)的圖形圖像來幫助你的加工處理。

關(guān)鍵特點(diǎn)

• 抗震性能，適合于生產(chǎn)車間的計(jì)量檢測和過程控制。

• 所有參數(shù)遵照ISO 25178國際標(biāo)準(zhǔn)，保證計(jì)量結(jié)果的可性度。

• 非接觸式計(jì)量技術(shù)不會引起任何待測件的損傷。

• 計(jì)算機(jī)控制的4位物鏡轉(zhuǎn)臺。

• 基于區(qū)域的測量，對待測件如何放置不敏感。

• 測量無需任何耗材。

Zygo ZeGage ProHR桌面式光學(xué)輪廓測量儀性能

· 結(jié)合抗震的非接觸式的光學(xué)測量技術(shù)，無需振動(dòng)隔離平臺或者隔離裝置。

· 納米級的表面定量計(jì)量精度提供了出色的計(jì)量能力。

· 關(guān)聯(lián)的2D和3D標(biāo)準(zhǔn)，符合ISO 25178面形粗糙度參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。

· 百萬像素的高分辨率圖形傳感器可以在幾秒時(shí)間內(nèi)進(jìn)行快速面測量，并給出  表面細(xì)節(jié)成像。

· 集成的自動(dòng)聚焦和聚焦輔助功能使操作非常簡單并且減少了由于操作誤差。

· 可選配機(jī)動(dòng)樣品臺，使高精度檢測的自動(dòng)測量和大面積拼接成為可能。

多功能性

· 測量各種材料的面形，提供個(gè)中參數(shù)，包括表面結(jié)構(gòu)，面形和臺階高度等等的2D和3D 圖形。

· 可選擇放大倍率和視場為系統(tǒng)提供更多選擇。

· Mx軟件提供全面的用于表面數(shù)據(jù)圖像處理、分析和報(bào)告的工具。

· 配備的T型槽樣品臺使測量操作簡單、可以重復(fù)的定位。

生產(chǎn)力和價(jià)值

· 與同類產(chǎn)品相比較（包括探針式接觸式輪廓儀）具有高性價(jià)比，及高測量性能。

· 緊湊的機(jī)型，及具有抗震技術(shù)SureScan( )技術(shù)，使Zegage可以整合在工廠里的任何地方。

· 非接觸式的測量系統(tǒng)，沒有耗材，不用擔(dān)心使用成本。

· 操作簡便，只需簡單培訓(xùn)即可上手，也降低了維護(hù)成本。

· 大功率、長壽命的LED光源使設(shè)備可以長期無障礙運(yùn)行。