InTouchScope™ 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡日常使用的SEM，好用！

隨著技術的不斷創(chuàng)新，觀察的樣品也越來越小，微小樣品的測定已經(jīng)常態(tài)化。 基于此，浸沒式熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡InTouchScope™系列 JSM-IT700HR誕生了。

該設備最高分辨率1nm、最大探針電流300nA（之前的15倍），可提供豐富的觀測和分析信息，用戶界面操作簡單、設計緊湊、配備大樣品室。

■  InTouchScope™ 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡視頻介紹

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■  Zeromag & Autofunctions

      放大光學圖像，無縫過渡到SEM圖像

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Zeromag具有將樣品臺圖像、光學像和SEM像聯(lián)動的功能，樣品臺上有多個樣品和觀察特定區(qū)域時，很容易搜尋視野。

※若顯示光學像，需要選件樣品臺導航系統(tǒng)SNS

■  Integrated EDS & Live Analysis

      一體化EDS和實時分析

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SEM操作界面上有EDS分析操作，觀察分析無障礙。Live Analysis具有實時顯示特征X線譜圖功能。

■  SMILE VIEW™ Lab

      快速生成數(shù)據(jù)報告

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JEOL的數(shù)據(jù)管理工具。 光學像、SEM像、EDS分析結果一并保存。報告書一鍵生成。

也可以離線解析※1。

※1　需要離線分析軟件   ※2　需要安裝Microsoft®Office

■  信號深度顯示

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在操作導航GUI里增加了【信號深度顯示】功能，實時了解在測樣品的分析深度（參考），有效用于元素分析中。

■  自動電子束對中 (ABA)

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電子束的軸偏離時，自動調整對中功能

■  用蒙太奇功能進行廣域觀察與分析

蒙太奇結果 6x6（左：背散射電子像、右：Cu元素map像 ）

樣品：黃銅螺釘?shù)钠矫婵涛g橫截面*、 加速電壓：20 kV、低真空模式 (20 Pa)、取像：6.4 mm × 4.8 mm

*機械研磨后、用IB-19530CP進行平面刻蝕加工

蒙太奇就是一種拼接功能，能夠將廣域內采集到的所有圖像拼接成一個高清圖像。此功能對于獲取大面積詳細信息非常有用。