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GVC-2000TD 高真空磁控離子濺射儀

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京格微儀器有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 GVC-2000TD
  • 產地
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2025/1/2 18:02:53
  • 訪問次數 1470

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  北京格微儀器有限公司長期致力于打造以用戶體驗為中心的材料表征領域、材料表面改性等儀器設備研發(fā)制造,產品包括:磁控離子濺射儀,高真空磁控離子濺射儀,手套箱鍍電極制備鍍膜儀,微納器件制備鍍膜儀,高真空鍍碳儀。公司總部位于北京海淀中關村,有多名多年從事真空技術、電子光學、離子光學、表面物理、材料制備等技術人員聯(lián)合發(fā)起,團隊全部為碩士以上學歷或高級職稱,具備專業(yè)的表面分析、結構分析、原位分析等應用經驗,在科研、產業(yè)等領域,沉浸多年,具備獨立設計、項目承擔、生產制造等綜合能力。當前聚焦于具有自主知識產權并具備國際競爭力的電子顯微鏡樣品制備設備,并在眾多高校院所和產業(yè)單位得到青睞。

離子濺射儀、熱蒸發(fā)鍍碳儀

產地類別 國產 價格區(qū)間 面議
應用領域 電子,冶金,綜合

高真空磁控離子濺射儀


       一、GVC-2000TD高真空磁控離子濺射儀產品優(yōu)勢:

  1、可制備各種金屬、單質、無機非金屬薄膜;
  2、不破真空情況下,可實現(xiàn)多層復合膜制備;
  3、一鍵操作,全自動控制,智能化程度高;
  4、一致性、重復性好;
  5、內置多重靶材工作參數,無需摸索鍍膜工藝;
  6、體積小,結構緊湊,非常節(jié)約空間。

  二、GVC-2000TD高真空磁控離子濺射儀產品參數:
外形尺寸(主機) 424(L)×345(D)×420(H) 輸入電源 220V/50Hz    1000W
濺射靶頭 1 直流磁控濺射 可用靶材 金屬靶材
濺射靶頭 2 射頻磁控濺射 可用靶材 無機非金屬靶材
真空系統(tǒng) 渦輪分子泵+旋片式真空泵 抽速 90L/s + 1.1L/s
真空測量 復合式真空規(guī) 量程范圍 1E-3 ~ 1E5Pa
真空室 φ 200×130mm 高硼硅玻璃 抽氣節(jié)拍 10 分鐘(≤5E-3Pa
樣品臺尺寸 φ 90mm 樣品臺切換 自動控制
濺射靶材尺寸 φ 57mm(厚度 0.1-2mm 工作真空 0.1-2Pa
操作界面 7 英寸 TFT 觸摸式液晶屏 操作語言 中文(可選其它語言)
冷水機 小型臺式制冷機 冷水機功率 180W
預濺射擋板 標配全自動控制預濺射擋板
膜厚儀(選配) 可實時顯示鍍膜厚度,并通過設定來控制鍍膜過程,測量精度 0.01nm,設定精度 0.1nm,單次設定范圍 1-999nm
溫控組件(選配) 樣品臺加熱模塊 300/500
旋轉組件(選配) 傾斜旋轉、行星旋轉等
小車(選配) 將主機、射頻電源、冷水機等組裝在一起,整體性好
安裝環(huán)境 220V/10A 三孔插座一個、純度 4N 及以上的高純氬氣(出口壓力 0.12MPa


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