化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>工藝測量和檢測設(shè)備>關(guān)鍵尺寸測量設(shè)備>Orzew FC20/FC20X 全自動(dòng)晶圓關(guān)鍵尺寸檢測及分選機(jī)
Orzew FC20/FC20X 全自動(dòng)晶圓關(guān)鍵尺寸檢測及分選機(jī)
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Orzew FC20/FC20X
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/11/9 15:50:34
- 訪問次數(shù) 5775
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全自動(dòng)晶圓關(guān)鍵尺寸檢測及分選機(jī)功能:
多種測量能力
形貌測量
晶圓分選
電阻率測量
關(guān)鍵尺寸檢測
自由選擇適配的測量方式
Dymek Orzew FC20使用無接觸式單側(cè)紅外干涉光傳感器,搭配標(biāo)準(zhǔn)真空吸附晶圓載臺
Dymek Orzew FC20X使用無接觸式點(diǎn)光譜共焦對射傳感器,搭配符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三點(diǎn)支撐水平載臺
兩套系統(tǒng)均配有高速、高精度運(yùn)動(dòng)模組和晶圓機(jī)械手,滿足亞微米級的形貌測量需求
可選裝配電阻率測試模塊,滿足更多樣化的量測需求,適應(yīng)更多的晶圓制程
厚度分布熱力圖和三維面型
•具備4,6,8寸晶圓檢測能力(12寸可選)
•全自動(dòng)輸出測量結(jié)果
•自定義電阻率檢測輸出方式