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SEM5000X 超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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國儀量子的核心技術(shù)是以量子精密測量為代表的先進測量技術(shù),為全球范圍內(nèi)企業(yè)、政府、研究機構(gòu)提供以增強型量子傳感器為代表的核心關(guān)鍵器件、用于分析測試的科學(xué)儀器裝備、賦能行業(yè)應(yīng)用的核心技術(shù)解決方案等優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。

公司源于中國科學(xué)技術(shù)大學(xué),實驗室在高duan科學(xué)儀器、關(guān)鍵核心器件的研制領(lǐng)域深耕十余年,多項技術(shù)、研究成果突破國際封suo和禁運,并獲得 ”中國科學(xué)十da進展“” 國家自然科學(xué)二等獎“”中國分析測試協(xié)會科學(xué)技術(shù)獎特等獎“等諸多獎項。

公司傳承實驗室的創(chuàng)新基因與探索精神,為世界的科技工作者提供探知微觀世界的一把尺子,獲得”2021年安徽省科學(xué)技術(shù)獎一等獎“”朱良漪分析儀器創(chuàng)新獎“”安徽省新型研發(fā)機構(gòu)“”安徽省量子精密測量創(chuàng)新中心“”安徽省專精特新冠jun企業(yè)“等獎項。

公司面向量子科技、材料科學(xué)、化學(xué)化工、生物醫(yī)學(xué)、工業(yè)領(lǐng)域、科學(xué)教育、能源勘探等領(lǐng)域,致力于幫助客戶更高效地推動技術(shù)的發(fā)展,探索并創(chuàng)造人類的未來。

 

 

 

 

EPR電子順磁共振波譜儀、SEM掃描電子顯微鏡、比表面及孔徑分析儀、高溫高壓吸附儀、金剛石量子計算機、任意波形發(fā)生器、數(shù)字延時脈沖發(fā)生器、鎖相放大器

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 儀器種類 熱場發(fā)射
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,石油,能源,電子,制藥

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡,其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級,實現(xiàn)了低電壓分辨率的進一步提升。全新設(shè)計的樣品倉,擴展接口增加至16個,快速換樣倉最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm),極大擴展應(yīng)用范圍。高級掃描模式和自動功能增強,帶來了更強的性能和更好的體驗。

產(chǎn)品特點.png

產(chǎn)品優(yōu)勢:

•超高分辨率成像,達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

•樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù),挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景

•高精度機械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機架減震設(shè)計,可搭配整體罩殼設(shè)計,極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響

•最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉,滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求



應(yīng)用案例


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產(chǎn)品參數(shù).png

產(chǎn)品參數(shù)2.png


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