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電子束蒸鍍設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/7/10 13:27:41
  • 訪問次數(shù) 820

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北京瑞科中儀科技有限公司專注半導(dǎo)體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。專業(yè)的團(tuán)隊,專精的服務(wù),提供理想的解決方案。

我們長期專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理,為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的分析解決方案。以專業(yè)技能為導(dǎo)向,用科技來解決用戶在科研中遇到的難題。專業(yè)的技術(shù)工程師和科研工作者進(jìn)行現(xiàn)場演示和技術(shù)交流,打消顧慮,彼此協(xié)作,為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機(jī)、等離子清洗機(jī)、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實(shí)驗室設(shè)備儀器。

客戶至上的服務(wù)理念,以人為本的企業(yè)文化,我們始終為用戶提供專業(yè)的服務(wù)!

合作丨共贏,選擇我們,選擇未來!

 

半導(dǎo)體材料分析,材料刻蝕

應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子

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電子束蒸鍍設(shè)備介紹

SYSKEY的電子束沉積是一種實(shí)用且高度可靠的系統(tǒng)。我們的系統(tǒng)可針對量產(chǎn)使用單一坩堝也可以有多個坩堝來達(dá)到產(chǎn)品多層膜結(jié)構(gòu)。在基板乘載上我們對應(yīng)半導(dǎo)體研究和大型設(shè)備設(shè)計。單片和多片公自轉(zhuǎn)的設(shè)計可以控制蒸發(fā)速率,薄膜厚度和均勻度小於+/- 3%。

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電子束蒸鍍設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域腔體
  • 光學(xué)材料研究(LED/Laser Diode)。

  • 光電元件。

  • 半導(dǎo)體元件。


  • 由304不銹鋼所製成,通過外部焊

    接304不銹鋼管線對腔體進(jìn)行水冷。

  • 寬大的前開式門,並有兩個視窗和

    視窗遮版用於觀察基材和電子束源。

  • 腔體的極限真空度約為10-8 Torr。

配置和優(yōu)點(diǎn)選件
  • 客製化的基板尺寸,最大直徑可達(dá)12寸晶圓。

  • 單載片或多載片(2” x 32個,4” x 16個,6” x 6個,8” x 4個)。

  • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3%。

  • 具有水冷坩堝的多組坩鍋旋轉(zhuǎn)電子

    束源(1/2/4/6坩堝)。

  • 自動鍍膜系統(tǒng)。

  • 具有順序操作或共沉積的多個電子束源。

  • 基板具有冷卻(液態(tài)氮溫度低至-70°C)或加熱(溫度最高800°C)等功能。

  • 可以與傳送腔、機(jī)械手臂和手套箱

    整合在一起。

  • 結(jié)合離子源、濺鍍槍、熱蒸發(fā)源、

    等離子清潔...。






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