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LODAS™ – AI50/100 Photomask Blanks缺陷檢查裝置

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Photomask Blanks缺陷檢查裝置

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經(jīng)驗的高科技設(shè)備分銷商,主要為數(shù)據(jù)存儲、半導(dǎo)體、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù)、解決方案廣泛地運用于中國香港,中國大陸(上海、東莞、北京),中國臺灣,泰國,菲律賓,馬來西亞,越南及新加坡等地區(qū)。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:

晶圓鍵合機、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統(tǒng)、應(yīng)力檢測儀、電容式位移傳感器、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,請聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機構(gòu)長期發(fā)展的目標(biāo)。




膜厚儀,輪廓儀,EVG鍵合機,EVG光刻機,HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器

列真株式會社自創(chuàng)業(yè)以來,秉承“挑戰(zhàn)”、“創(chuàng)造”、“誠實”的經(jīng)營理念,為顧客提供可靠、可信的產(chǎn)品和服務(wù)。運用激光掃描技術(shù),專門制造、銷售半導(dǎo)體材料表面及內(nèi)部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。


特征:

  • 半導(dǎo)體用Photomask Blanks的出廠檢查、工藝評價

  • 用微分干涉顯微鏡分析缺陷

  • 檢查對象:Photomask Substrate、Cr、Resist、MoSi

  • 檢查項目:顆粒、內(nèi)部缺陷(Option)

  • 檢查靈敏度:PDM缺陷尺寸0.1μm(AI00)

列真公司檢查裝置的維護、修理

  • 定期支持裝置安裝完成后的性能維持。

  • 24小時電話對應(yīng),全年無休的安心支持。

  • 認(rèn)真對待客戶新的要求。

  • 召開技術(shù)研討會和充實各種手冊,讓顧客能夠自行維護和更換零件。

  • 提供HDD、激光光源等消耗品的免費診斷服務(wù)。






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