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RTP-3-01 晶化快速退火爐 嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備
- 公司名稱(chēng) 武漢嘉儀通科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) RTP-3-01
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間 2023/6/24 16:55:06
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 213
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晶化快速退火爐 嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備采用紅外輻射加熱技術(shù),可實(shí)現(xiàn)1吋(選配2吋)樣品快速升溫和降溫,同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng),可達(dá)到好的溫場(chǎng)均勻性,對(duì)薄膜材料進(jìn)行晶化快速退火處理,提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性。
晶化快速退火爐 嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備產(chǎn)品特點(diǎn):
快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達(dá)50 ℃/s,特定條件下可以達(dá)到100 ℃/s。冷壁水冷設(shè)計(jì)能夠達(dá)到較大的降溫速率,特定條件下可達(dá)30 ℃/s。
精確控溫: 采用工業(yè)級(jí)溫控器進(jìn)行PID精確控溫,目標(biāo)溫度與設(shè)定溫度曲線(xiàn)一致性高,可實(shí)現(xiàn)室溫至1200 ℃的溫度精確控制。
適應(yīng)多種工藝環(huán)境: 滿(mǎn)足多種工藝氣氛下的熱處理(氮?dú)?、氬氣等)。同時(shí),通過(guò)選配真空泵,可以在真空條件下進(jìn)行退火,真空度可達(dá)10-3Pa。
配備觀(guān)察窗口: 通過(guò)觀(guān)察窗口,可以實(shí)時(shí)觀(guān)察熱處理過(guò)程中的樣品變化。同時(shí),可以結(jié)合相關(guān)測(cè)試方法進(jìn)行原位測(cè)試分析。
超高安全系數(shù): 采用爐壁超溫報(bào)警系統(tǒng)和冷卻水流量報(bào)警系統(tǒng),多方位保障儀器使用安全。
國(guó)產(chǎn)退火爐:擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力,能快速反應(yīng)客戶(hù)售后需求。
晶化快速退火爐技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | RTP-3-01系列 |
溫度 | 1200℃ |
升溫速率 | 50℃/s |
溫度均勻性 | ≦1%設(shè)定溫度 |
溫度控制 | 選用工業(yè)級(jí)溫控器,控溫精度±0.1℃ |
溫度傳感器 | 標(biāo)準(zhǔn)K型熱電偶 |
降溫速率 | 1200℃→400℃,200℃/min 400℃→100℃,20℃/min (自然冷卻) |
樣品尺寸 | W20 x L20 x T2 (mm) |
主機(jī)尺寸 | W420X L320X H220 (mm) |
主機(jī)重量 | 20.5kg |
晶化快速退火爐 嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備客戶(hù)案例:
清華大學(xué)使用嘉儀通1吋晶化快速退火爐給HfO2薄膜做晶化退火,得到晶相一致晶粒較小的晶體,提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性。