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customized TEM Mill 精密離子減薄儀

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精密離子減薄儀減薄儀

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,建材,綜合

一、產(chǎn)品概述:

精密離子減薄儀是一種高精度的樣品制備設(shè)備,專門用于通過離子轟擊去除材料表面層,以實(shí)現(xiàn)樣品的薄化和表面優(yōu)化。該儀器廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、電子顯微鏡樣品制備和半導(dǎo)體行業(yè)。

二、設(shè)備用途/原理

·設(shè)備用途

精密離子減薄儀主要用于制備電子顯微鏡樣品,幫助研究人員獲得高質(zhì)量的超薄樣品,以便進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)分析和材料特性研究。它也適用于去除表面缺陷和改善材料的表面質(zhì)量,以滿足高的應(yīng)用需求。

·工作原理

精密離子減薄儀通過生成高能離子束并將其聚焦到樣品表面,利用離子轟擊去除表面材料。儀器可以精確控制離子束的能量、轟擊角度和處理時(shí)間,以實(shí)現(xiàn)均勻的減薄效果。通過調(diào)節(jié)這些參數(shù),用戶能夠獲得所需的樣品厚度和表面特性,確保樣品在后續(xù)電子顯微鏡觀察中的高分辨率和準(zhǔn)確性。

三、主要技術(shù)指標(biāo):

1. 兩支獨(dú)立可調(diào)電磁聚焦離子槍

2. 同時(shí)具備高能量(快速拋光)和低能量(精細(xì)修復(fù))

3. 超寬加速電壓范圍:100eV 10kV,不同加速電壓下,離子束束斑均保持細(xì)優(yōu)束斑狀態(tài)

4. 每支離子槍均配備對(duì)應(yīng)法拉第杯進(jìn)行離子束直接探測(cè)

5. 采用可調(diào)節(jié)10英寸觸屏控制系統(tǒng),人機(jī)界面友好,操作簡(jiǎn)潔

6. 自動(dòng)獨(dú)立氣源控制

7. 減薄角度范圍:-15°~+10°連續(xù)可調(diào)

8. 樣品載臺(tái)X-Y可調(diào),可根據(jù)需要調(diào)整樣品減薄位置

9. 具備原位實(shí)時(shí)觀察及記錄減薄過程功能

10 .樣品可360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)或搖擺,離子束自動(dòng)避讓樣品夾

11. 可通過時(shí)間、溫度以及透光性自動(dòng)停止

12. 可選液氮冷臺(tái)配置,去除熱效應(yīng)對(duì)樣品的損傷

13. 可選真空或惰性氣體轉(zhuǎn)移裝置,隔絕樣品與水氧接觸




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