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MKS ASTex AX8407 臭氧發(fā)生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator

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      神州科技為芯片產(chǎn)線,光伏產(chǎn)線,液晶面板制造產(chǎn)線,工業(yè)玻璃鍍膜產(chǎn)線,LED新光源產(chǎn)線,以及醫(yī)療、科研真空,各類高科技產(chǎn)業(yè)等離子系統(tǒng)提供電源系統(tǒng)的維修,備件支持,設(shè)備租憑服務(wù)。神州團(tuán)隊(duì)嚴(yán)謹(jǐn)創(chuàng)新,高效熱誠,服務(wù)世界半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。








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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子,電氣,綜合
型號(hào) AX8407 MN AX8407
設(shè)備狀態(tài) Refurblished

MKS 臭氧發(fā)生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 是一款高濃度、高流量的臭氧發(fā)生器,通過無聲放電將純氧轉(zhuǎn)化為臭氧,實(shí)現(xiàn)高輸出和高濃度水平。AX8407 只需要摻入微量的氮?dú)?,遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于其他臭氧發(fā)生器所需的氮?dú)馑剑虼俗罱K產(chǎn)生的如氮氧化物之類的污染物的含量是很低的。

MKS 臭氧發(fā)生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 參數(shù)規(guī)格

類型:臭氧氣體發(fā)生器

臭氧輸出:335g/Nm3

流量:5~40slm

原料氣:6級(jí)或是更好的氧氣;100~1000ppm 5級(jí)或更好的氮?dú)?/p>

額定腔室壓力:15~45psig(100~310kPa)

壓力:20~30psig

水冷溫度:5~25℃

水冷過濾:100微米

水冷水質(zhì):電阻率≥50KΩ/cm

水冷流量:7.6L/min MIN

AC輸入:208VAC(±10%),3 phase,15A,50/60Hz

設(shè)備重量:50kg(130LB)

尺寸規(guī)格:483 * 445 * 267 mm

MKS ASTeX AX8407 特征

1.臭氧濃度在 5°C 時(shí)高達(dá) 335 g/Nm3 或 21.7 wt%

2.5slm ~ 40slm的 O2 流量可實(shí)現(xiàn)工藝靈活性

3.優(yōu)秀的腔室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可產(chǎn)生高濃度臭氧

4.閉環(huán)操作可實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的過程控制




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