熱絲CVD PC-005 熱絲CVD金剛石設備
- 公司名稱 鵬城半導體技術（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 熱絲CVD PC-005
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2022/11/2 8:40:28
- 訪問次數(shù) 425
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鵬城半導體技術（深圳）有限公司(簡稱：鵬城半導體），由哈爾濱工業(yè)大學（深圳）與有多年實踐經(jīng)驗的工程師團隊共同發(fā)起創(chuàng)建。公司立足于技術前沿與市場前沿的交叉點，尋求創(chuàng)新yin/ling與可持續(xù)發(fā)展，解決產(chǎn)業(yè)的痛點和國產(chǎn)化難題，爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。
公司核心業(yè)務是微納技術與gao duan精密制造，具體應用領域包括半導體材料、半導體工藝和半導體裝備的研發(fā)設計和生產(chǎn)制造。
公司人才團隊知識結構完整，有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊；還有來自工業(yè)界的高級裝備設計師團隊，他們具有20多年的半導體材料研究、外延技術研究和半導體薄膜制備成套裝備設計、生產(chǎn)制造的經(jīng)驗。
公司依托于哈爾濱工業(yè)大學（深圳），具備*的半導體研發(fā)設備平臺和檢測設備平臺，可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導體裝備的研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試以及半導體材料與器件的中試、生產(chǎn)、銷售的能力。
半導體材料,工藝和裝備的研發(fā)設計,生產(chǎn)制造
鵬城半導體研發(fā)設計制造了熱絲CVD 金剛石設備，分為實驗型設備和生產(chǎn)型設備兩類。
熱絲CVD金剛石設備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜、導電金剛石薄膜、硬質合金基金剛石涂層刀具、陶瓷軸承內(nèi)孔鍍金剛石薄膜等。例如可用于生產(chǎn)制造環(huán)保領域污水處理用的耐腐蝕金剛石導電電極。
可用于平面工件的金剛石薄膜制備，也可用于刀具表面或其它不規(guī)則表面的金剛石硬質涂層制備。
平面工作尺寸
圓形平面工作的尺寸：φ650mm。
矩形工作尺寸的寬度600mm/長度可根據(jù)鍍膜室的長度確定（如：工件長度1200mm）。
配置冷水樣品臺。
熱絲電源功率
可達300KW，1KW ～300KW可調(diào)（可根據(jù)用戶工藝需求配置功率范圍）
設備安全性
-電力系統(tǒng)的檢測與保護
-設置真空檢測與報警保護功能
-冷卻循環(huán)水系統(tǒng)壓力檢測和流量檢測與報警保護
-設置水壓檢測與報警保護裝置
-設置水流檢測報警裝置
熱絲CVD金剛石設備構成
真空室構成
雙層水冷結構，立式圓形、立式D形、立式矩形、臥式矩形,前后開門，真空尺寸,根據(jù)工件尺寸和數(shù)量確定。
熱絲
熱絲材料：鉭絲、或鎢絲
熱絲溫度：1800℃～ 2500℃ 可調(diào)
樣品臺
可水冷、可加偏壓、可旋轉、可升降 ，由調(diào)速電機控制，可實現(xiàn)自動升降，（熱絲與襯底間距在5 ～ 100mm范圍內(nèi)可調(diào)），要求升降平穩(wěn),上下波動不大于0.1mm。
工作氣路（CVD）
工作氣路根據(jù)用戶工藝要求配置：
下面氣體配置是某一用戶的配置案例。
H2(5000sccm，濃度*100*%)
CH4(200sccm，濃度*100*%)
B2H6（50sccm，H2濃度99%）
Ar(1000sccm，濃度*100*%)
真空獲得及測量系統(tǒng)
控制系統(tǒng)及軟件
實驗型 熱絲CVD 金剛石設備
單面熱絲CVD 金剛石設備
雙面熱絲CVD 金剛石設備
生產(chǎn)型熱絲CVD 金剛石設備
可制備金剛石面積-寬650*1200mm
可制備金剛石φ 650mm
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