SEM納米探針臺(tái)

產(chǎn)品介紹

三軸探針臺(tái)由三個(gè)單軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)組合而成。一個(gè)SEM腔體內(nèi)可安裝多個(gè)三軸探針臺(tái)。平臺(tái)上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類(lèi)操縱和測(cè)量頭，實(shí)現(xiàn)微納操縱和測(cè)量的目的。

標(biāo)準(zhǔn)配置包含：探針主體、適配SEM/FIB的底座、過(guò)真空法蘭、探針控制器及控制手柄

選配：低溫、高溫樣品臺(tái)、光纖夾頭和光纖真空饋通、EBIC套件

產(chǎn)品特點(diǎn)

▲ 結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性

▲ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng) 

▲ 壓電陶瓷位移平臺(tái)具有超長(zhǎng)使用壽命

▲ 內(nèi)部根據(jù)需求可增加位置反饋 

▲ 應(yīng)用：納米材料操縱、納米器件電學(xué)光電等物性測(cè)量、生物細(xì)胞DNA操作等

▲ 適配SEM：日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等

應(yīng)用領(lǐng)域

規(guī)格參數(shù)

樣品臺(tái)面平面度：10μm

探針臺(tái)總重量：225g

三軸XYZ行程：±10mm

最大運(yùn)動(dòng)速度：3mm/s

細(xì)調(diào)分辨率：0.5nm

案例應(yīng)用