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Nanotronics nSpec Macro 微流控缺陷檢測(cè)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) Nanotronics nSpec Macro
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/11/9 14:22:11
- 訪問(wèn)次數(shù) 8365
產(chǎn)品標(biāo)簽
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),制藥,綜合 |
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微流控缺陷檢測(cè)產(chǎn)品簡(jiǎn)介
1、nSpec Macro是一種快速自動(dòng)晶圓宏觀檢測(cè)儀,無(wú)論您有多特殊的晶圓檢查要求,我們都能提供一系列解決方案來(lái)讓您獲得快速的結(jié)果。這種緊湊的系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于對(duì)200 mm以下的晶圓進(jìn)行高通量宏觀檢查。 以毫米為單位,nSpec Macro可以自動(dòng)檢測(cè)并量化從50到100微米的眾多缺陷,這取決于視場(chǎng)或晶圓尺寸。
2、nSpec Macro可以照亮樣品的整個(gè)面,或設(shè)置照明角度和/或離散照明矢量。 明場(chǎng),暗場(chǎng),正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨(dú)配置的LED,配合使用可調(diào)節(jié)照明的強(qiáng)度,顏色和位置。
3、該系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)導(dǎo)出CSV文件,并且與SECS / GEM兼容,也可以根據(jù)客戶要求進(jìn)行定制。
自動(dòng)化晶圓處理功能
所有Nanotronicsn Spec Macros都裝有滿足行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的晶圓裝載機(jī)。Nanotronics創(chuàng)造了末端執(zhí)行器,可將整個(gè)單個(gè)晶圓和/或帶有的晶圓加載進(jìn)去。每個(gè)末端執(zhí)行器都是根據(jù)客戶的需求設(shè)計(jì)的。
光學(xué)特性
暗場(chǎng)照明模式照明角度:0度
傾斜照明模式照明角度:0至80度
明場(chǎng)照明模式照明角度:90度
正交照明模式照明角度:90度(通過(guò)鏡頭)
晶圓裝載機(jī)
一次運(yùn)行1個(gè)卡夾:標(biāo)準(zhǔn)H型卡夾
標(biāo)準(zhǔn)晶圓尺寸:50、75、100、150或200mm
控制軟件
配方易于配置,并可以根據(jù)需要保存??梢园错樞蜻M(jìn)行多次掃描,并且在照射角度,強(qiáng)度和波長(zhǎng)方面具有*的靈活性。
系統(tǒng)參數(shù)
重量:62kg
尺寸(寬x深x高):67厘米 x 74厘米 x 65厘米
蕞小真空要求:20 in.Hg
電源:110v / 220v,3.5安培