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Nanotronics nSpec LS 晶圓缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng)

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經(jīng)驗的高科技設(shè)備分銷商,主要為數(shù)據(jù)存儲、半導(dǎo)體、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù)、解決方案廣泛地運用于中國香港,中國大陸(上海、東莞、北京),中國臺灣,泰國,菲律賓,馬來西亞,越南及新加坡等地區(qū)。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:

晶圓鍵合機、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學(xué)三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統(tǒng)、應(yīng)力檢測儀、電容式位移傳感器、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,請聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機構(gòu)長期發(fā)展的目標。




膜厚儀,輪廓儀,EVG鍵合機,EVG光刻機,HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器

價格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 電子,綜合
  本產(chǎn)品主要是用于檢測晶圓表面的缺陷。是一套實用的晶圓缺陷檢測光學(xué)系統(tǒng)。無論用戶對樣品檢驗有什么具體要求,我們都能提供廣范的解決方案來獲得快速的結(jié)果。
  nSpec LS是研發(fā)和過程開發(fā)的理想系統(tǒng)。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且,隨著需求的發(fā)展,配方保存和修改也是非常方便的。
  1. 半自動晶圓缺陷檢測功能
  ·基板,外延和圖案化晶圓
  ·透明和不透明的材料
  ·在膠片膠帶,托盤,凝膠包裝或蛋餅形包裝上模切
  ·光罩
  ·樣品碎片
  2. 系統(tǒng)特征
  ·多種分辨率設(shè)置,范圍從0.25 µm及更高
  ·快速掃描
  ·可定制的缺陷報告
  ·各種樣品夾頭可滿足特定需求
  ·對缺陷或感興趣的特征進行檢測和分類的魯棒分析
  ·檢查和審查程序
  ·多系統(tǒng)同步
  ·占地面積小,設(shè)施要求zui少
  ·機架安裝控件
  3. 系統(tǒng)參數(shù)
  重量:318 kg
  外觀尺寸(W x D x H):53 cm x 133 cm x 176 cm
  zui小氣壓:24 in. Hg (70 kPa)
  電源:110v/220v, 3.5 amps
  光學(xué)器件:
  照明模式:Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)
  光源:白光LED(也可選其他)
  物鏡倍率:2.5, 5, 10, 20, 或50x,用戶可選
  工作臺:
  典型行程:200 mm,X和Y方向
  定位:帶有閉環(huán)編碼器的線性伺服電機(分辨率為50 nm)
  重復(fù)性:+/- 0.5 µm
  行程平整度:30 µm
  結(jié)構(gòu):精密地面滾道和交叉滾子軸承
  支撐平臺:顯微鏡/重型底座集成到隔離臺中
  中心負載能力:2.27 kg
  重量:11.33 kg
  尺寸(W x D x H):35 cm x 37 cm x 4 cm
  備選功能:
  AFM原子力顯微鏡:可根據(jù)要求提供規(guī)格
  SECS/GEM
  透射光
  自動傳送晶圓片


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