產(chǎn)品概述
產(chǎn)品優(yōu)勢
? 測量準(zhǔn)確度重復(fù)性達(dá)到世界先流水平（中國計量科學(xué)研究院證書）
Nano-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光
垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗
糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加
工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

n 測量模式

移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）

n 樣 品 臺

150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°

可選手動/電動樣品臺

n CCD 相機(jī)像素

標(biāo)配：1280×960

n 視場范圍

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)

n 光學(xué)系統(tǒng)

同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)

n 光 源

高效 LED

n Z 方向聚焦

80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）

n Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描，拓展達(dá) 10mm )

n 縱向分辨率

＜0.1nm

n RMS 重復(fù)性*

0.005nm，1σ

n 臺階測量**

準(zhǔn)確度 ≤0.75％；重復(fù)性 ≤0.1%，1σ

n 橫向分辨率

≥0.35um（100 倍物鏡）

n 檢測速度

≤ 35um/sec , 與所選的 CCD