便攜式膜厚儀主要由以下系統(tǒng)組成：

Α白熾-LED混合集成式光源系統(tǒng)，通過內(nèi)嵌式微處理器控制，使用壽命超過20000小時。

小型光譜儀，光譜范圍370nm –1050nm,分辨精度可達3648像素， 16位級 A/D 分辨精度；配有USB通訊接口；

Β) FR-Monitor膜厚測試軟件系統(tǒng)，

可精確計算如下參數(shù)：

1）單一或堆積膜層的厚度；

2）靜態(tài)或動態(tài)模式下，單一膜層的折射率；本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫，可以有效地協(xié)助用戶進行線下或者在線測試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率，透射率和反射率的測量，還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜，一次使用授權(quán)，即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結(jié)果分析使用。

C) 參考樣片：

a) 經(jīng)校準過的反射標準硅片；

b) 經(jīng)校準過的帶有SiO₂/Si 特征區(qū)域的樣片；

c) 經(jīng)校準過的帶有Si₃N₄/SiO₂/Si特征區(qū)域的樣片；

D) 反射探針臺和樣片夾具

可處理大的樣品尺寸達200mm, 包含不規(guī)則的尺寸等；

手動調(diào)節(jié)可測量高度可達50mm；

可針對更大尺寸訂制樣片夾具；

Ε) 反射率測量的光學探針

內(nèi)嵌系統(tǒng)6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm；

F) 附件

FR-portable透射率測量套件；