Mitutoyo顯微鏡VMU-H 378-506

顯微鏡

觀察、測(cè)量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容

VMU

378 系列 — 視頻顯微鏡系統(tǒng)

• 緊湊輕量型顯微鏡，相機(jī)觀察型。適于

檢測(cè)金屬表面、半導(dǎo)體、液晶面板、樹脂等。

• 多種鏡體通常用作適用于專業(yè)器械的OEM

(原廠委制) 產(chǎn)品，如那些利用YAG (近紅外、

可見、近紫外或紫外) 激光* 對(duì)半導(dǎo)體晶片

進(jìn)行檢測(cè)和修補(bǔ)的設(shè)備。

* 不保證激光系統(tǒng)產(chǎn)品的性能和安全性。

應(yīng)用：切割、修整、校正、 給半導(dǎo)體電路做

標(biāo)記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色

濾光器的修復(fù) (校正錯(cuò)誤)。還可用作光學(xué)觀

察剖面圖以便探頭分析半導(dǎo)體故障。

• 對(duì)于VMU-LB 和 VMU-LB， 顯微鏡主件的剛度

和總體性能與之前的型號(hào)相比已有所提高。

• 應(yīng)用*: 晶體硅的內(nèi)部觀察、紅外光譜特征

分析等。

* 需要紅外光源和紅外攝像機(jī)。

• 配有孔徑光闌的遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)是表面照明

光學(xué)系統(tǒng)上的標(biāo)準(zhǔn)配件。適于需要均勻

照明的圖像處理?？捎糜诔叽鐪y(cè)量、形狀

檢驗(yàn)、定位等。

• 設(shè)計(jì)和制造均能滿足您的需求，如雙攝影

機(jī)架、雙(低/ 高) 放大率觀察。

規(guī)格

型號(hào)VMU-V VMU-H VMU-LB VMU-L4B

貨號(hào)378-505 378-506 378-513 378-514

相機(jī)安裝方向垂直水平垂直

觀察亮視場(chǎng)/正像亮視場(chǎng)/反像亮視場(chǎng)/正像

光學(xué)管徑

TV適配器配備C-mount端口以及調(diào)心機(jī)構(gòu)配備C-mount端口以及調(diào)心機(jī)構(gòu)(帶有綠色濾光片轉(zhuǎn)換開關(guān))

成像(管徑)鏡頭內(nèi)置1X(可見/近紅外校準(zhǔn)) 內(nèi)置1X(近紅外~可見~近紫外校準(zhǔn)) 內(nèi)置1X(可見光/紫外線)

適用激光— YAG激光源(基本，第二/第三諧波)

安裝

YAG激光源(第二/第三/第四諧波)

安裝

物鏡

(必選)

用于觀察M Plan Apo系列, M Plan Apo HR系列, M Plan Apo SL系列, G Plan Apo系列

用于激光切割—

M/LCD Plan Apo NIR系列

M/LCD Plan Apo NUV系列

注意：取決于激光源的波長(zhǎng)

M/LCD Plan Apo NIR系列

M/LCD Plan Apo NUV系列

M Plan UV系列

注意：取決于激光源的波長(zhǎng)

適用相機(jī)(S) 2/3"以下相機(jī)(C-mount型)

反射照明光學(xué)系統(tǒng)配備有孔徑光闌的遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)

照明裝置(可選) 光纖傳導(dǎo)照明裝置(12V，100W) (378 - 700*)/(15V，150W) (176 - 316*)

主機(jī)重量650g 750g 1270g 1300g

注1：除上面顯示的型號(hào)外，對(duì)其它用于一般觀察的型號(hào)，也同樣配備了小型科勒照明系統(tǒng)。

注2：M Plan Apo 1X物鏡需同偏振裝置(378 - 710)一同使用。

*電源線不同貨號(hào)有所不同。