SZ-KW-12A主要用于光刻膠涂布、涂硼等工藝過程，該設(shè)備具有勻膠效率高，使用方便等特點(diǎn)。其勻膠速度、時間分多個時段，并分別無級可調(diào)。
電器線路可靠，電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，特別是電機(jī)轉(zhuǎn)矩大，優(yōu)于同類產(chǎn)品。吸片采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機(jī)工作,提高了效率。

勻膠機(jī)主要技術(shù)參數(shù)：
1、工作電源     AC220V  50Hz
2、電源功率     200W
3、裝片直徑     選擇10/20/30……180mm
4、 4個速度、時間段(1V、2V、3V、4V)
5、 八組程序（A1-A8）
6、加速*性（誤差）±0.5%
7、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度   ±1%
8、膠的均勻性   ±1.5% 
9、勻膠時間    0-200秒
10、速度范圍   100-4500或者7000 
11、外形尺寸     250x300x300mm
12、重量        勻膠機(jī)10KG

備注：請選擇合適的轉(zhuǎn)速范圍。

操作步驟：
1、接通外部真空系統(tǒng)，接通外電源，打開電源開關(guān)，用【工藝參數(shù)】鍵，選擇“A1”，若需要修改速度和時間，按一下【運(yùn)行修改】鍵，結(jié)合【↑】【↓】鍵,再用【+】【-】鍵調(diào)速度和時間至工藝要求，若有實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差，有微調(diào)的辦法。
2、放基片于吸盤中心處，打開紅色真空開關(guān)，檢查基片是否吸牢，（嚴(yán)禁對小于吸盤抽氣槽外圓的基片涂膠）。將適量光刻膠滴于基片中心處，按下綠色勻膠開關(guān)，。。。。。。(有異常情況，可按一下綠色的勻膠啟動按鈕，吸盤將停止)等待電機(jī)停止轉(zhuǎn)動后，關(guān)閉真空、取片。
3. 根據(jù)光刻膠的粘度和工作環(huán)境溫度選擇適當(dāng)轉(zhuǎn)速，一般勻膠時間大約5~20秒之間。
4. 將勻過膠的玻璃片立放在玻璃卡盤上放入金屬盒中，根據(jù)膠的要求放入溫箱進(jìn)行前烘，一般的光刻膠前烘溫度90℃30分鐘。
5. 勻膠機(jī)必須關(guān)閉上蓋后啟動、勻膠機(jī)轉(zhuǎn)動時嚴(yán)禁用手觸摸。用手去抓勻膠機(jī)吸盤，能導(dǎo)致本機(jī)保護(hù)，需返廠處理，請知悉。

配置：
勻膠機(jī)主機(jī)   一臺
接膠盤       工位數(shù)量和對應(yīng)吸盤的尺寸
配套吸盤     工位數(shù)量
真空泵       自備、另購