Joule Yacht 快速退火爐 LRTP
- 公司名稱 武漢嘉儀通科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2018/10/18 11:19:18
- 訪問次數(shù) 225
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紅外退火爐,液氮低溫恒溫器,相變溫度分析儀,熱膨脹系數(shù)分析儀,熱電參數(shù)測試系統(tǒng),薄膜熱電參數(shù)測試系統(tǒng),薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng),霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng),薄膜變溫電阻測試系統(tǒng)
Joule Yacht 快速退火爐 LRTP 應(yīng)用案例
l 快速熱處理,快速退火,快速熱氧化,快速熱氮化
l 離子注入/接觸退火
l SiAu, SiAl, SiMo合金化
l 太陽能電池片鍵合
l 電阻燒結(jié)
l 低介電材料熱處理
l 晶體化,致密化
l 其他熱工藝需求
Joule Yacht 快速退火爐 LRTP 產(chǎn)品特點(diǎn)
l 可測大尺寸樣品 可測單晶片樣品的最大尺寸為4英寸(100mm)。
l 快速控溫與高真空 最高升溫速率可達(dá)100℃/s,真空度最高可達(dá)到10Pa。
l 程序設(shè)定與氣路擴(kuò)展 最多可創(chuàng)建和存儲32個(gè)程序、8個(gè)PID設(shè)定,實(shí)現(xiàn)不同溫度段的精確測試。最多可擴(kuò)展至4條工藝氣路(MFC),應(yīng)用不同氣氛環(huán)境(真空、氮?dú)狻鍤?、氧氣、氫氮混合氣體等)。
l 全自動智能控制 采用全自動智能控制,包括溫度、時(shí)間、氣體流量、真空、氣氛、冷卻水等均可實(shí)現(xiàn)自動控制。
l 超高安全系數(shù) 采用爐門安全溫度開啟保護(hù)、溫控器開啟權(quán)限保護(hù)以及設(shè)備急停安全保護(hù)三重安全措施,*保障儀器使用安全。
快速退火爐技術(shù)參數(shù)
型號 | LRTP-1200 |
最高溫度 | 1200℃ |
最高升溫速率 | 100℃/s |
較快降溫速度 | 200℃/min(1000℃-->400℃) |
控溫精度 | ≤0.1℃ |
溫場均勻性 | ≤0.5% |
腔體冷卻 | 水冷方式,獨(dú)立冷卻源 |
襯底冷卻 | 氮?dú)獯祾?/p> |
工藝氣路 | MFC控制,最多4路(可選氮?dú)狻鍤?、氧氣、氫氮混合氣? |
主機(jī)尺寸 | 450×625×535,單位mm
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