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S8000G S8000G超分辨雙束掃描電鏡

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超高分辨FIBSEM聚焦離子束

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北京桔燈地球物理勘探股份有限公司(Beijing Orangelamp Geophysical Exploration Co.,Ltd)成立于2004年,是一家致力于地球物理自主研發(fā)、自媒體服務(wù)、勘探服務(wù)、銷售代理及售后支持為一體的*。 桔燈產(chǎn)品涵蓋固體礦產(chǎn)勘查、海洋勘查、石油勘探、實(shí)驗(yàn)室研究、低空物探及測(cè)繪、地質(zhì)調(diào)查、環(huán)保等多個(gè)技術(shù)領(lǐng)域。

實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,地球物理設(shè)備,石油設(shè)備

特點(diǎn)

  • 低電壓高分辨觀測(cè)能力——新一代鏡筒內(nèi)電子加速、減速技術(shù),
  • 磁性樣品高分辨成像及分析——靜電-電磁復(fù)合物鏡,物鏡無磁場(chǎng)外泄
  • 4個(gè)新一代探測(cè)器,可實(shí)現(xiàn)9種圖像觀測(cè),對(duì)樣品信息的采集更加全面
  • 大型樣品室,超過20個(gè)擴(kuò)展接口(為原位觀測(cè)、分析創(chuàng)造了良好的工作環(huán)境)
  • 兼容多種分析軟件,并*實(shí)現(xiàn)與TOF-SIMS、Raman聯(lián)用
  • 簡(jiǎn)化操作——新一代操作軟件,FIB鏡筒實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)的離子鏡筒對(duì)準(zhǔn)功能

集成多項(xiàng)創(chuàng)新性設(shè)計(jì),拓展新應(yīng)用領(lǐng)域的利器

S8000GTESCAN新一代FIB-SEM的*成員,集成了BrightBeam SEM鏡筒、Orage GaFIB鏡筒、OptiGIS氣體注入系統(tǒng)等多項(xiàng)創(chuàng)新設(shè)計(jì),在高分辨能力、原位應(yīng)用擴(kuò)展能力和分析擴(kuò)展能力方面達(dá)到了業(yè)內(nèi)*水平,此外新一代操作流程和軟件也給使用者帶來更舒適、高效的體驗(yàn)。

 

創(chuàng)新的電子光學(xué)鏡筒,使電鏡擁有更加出色的超高分辨率

S8000G配置了的BrightBeam™鏡筒,實(shí)現(xiàn)了無磁場(chǎng)超高分辨成像,可以zui大化的實(shí)現(xiàn)各種分析,包括磁性樣品的分析。新型鏡筒中的電子光路設(shè)計(jì)增強(qiáng)了低能量電子成像分辨率,特別適合對(duì)電子束敏感樣品和不導(dǎo)電樣品的分析。

另外,EquiPower™透鏡技術(shù)可有效減少能量損耗并保證電子鏡筒的穩(wěn)定性。

 

配備的多種探測(cè)器,更好的表面靈敏度和對(duì)比度

S8000G系統(tǒng)可配置的多種探測(cè)器,包括透鏡內(nèi) Axial detector 以及 Multidetector,可選擇不同角度和不同能量來收集信號(hào),信息種類更多,同時(shí)獲得更好的表面靈敏度和對(duì)比度。

新一代 Orage Ga FIB鏡筒,適用于各類具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務(wù)

S8000G離子能量zui低可達(dá)500eV,擁有更優(yōu)秀的低壓樣品制備能力,可以快速制備無損超薄TEM樣品

創(chuàng)新的Orage Ga FIB鏡筒配有*的離子光學(xué)系統(tǒng)和設(shè)計(jì)的OptiGIS™氣體注入系統(tǒng),使得TESCAN S8000G成為了世界*的樣品制備和納米圖形成型的儀器。S8000G束流可達(dá)100nA,具有超快速的加工能力,新穎的SmartMill高速切割功能,使得加工效率提升一倍。

 

技術(shù)參數(shù)

電子光學(xué)系統(tǒng)

電子槍

高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

電子光學(xué)鏡筒

Bright Beam 電子光學(xué)鏡筒

分辨率

 

高真空模式

0.9nm@15kV

1.4nm@1kV(電子束減速模式)

1.6nm@200V(電子束減速模式)

低真空模式

STEM(透射模式):0.9nm@30kV

BSE(背散射):2.0nm@30kV

LVSTD(低真空二次電子探測(cè)器):1.5nm@30kV

放大倍數(shù)

1~2,000,000

zui大視野

7mm@WD=6mm(分析距離)

加速電壓

50V~30kV

探針電流

~400nA

離子光學(xué)系統(tǒng)

離子鏡筒

Orage™高分辨 Ga +FIB鏡筒

分辨率

< 2.5 nm @ 30 kV (工作距離為SEM-FIB 交叉點(diǎn))

放大倍率

zui小150 @交叉點(diǎn),加速電壓 10 kV (對(duì)應(yīng)視野為1mm),zui大1,000,000 x

加速電壓

0.5 kV ~ 30 kV

探針電流

< 1 pA ~ 100 nA

SEM-FIB交叉點(diǎn)

SEM (WD = 6 mm) – FIB (WD = 12 mm)

SEM-FIB 夾角

55°

氣體注入系統(tǒng)

5針多氣體注入系統(tǒng) (選配)

單針多氣體注入系統(tǒng) (選配)

探測(cè)器、樣品室和樣品臺(tái)

探測(cè)器(標(biāo)配)

Multidetector (In-Beam)

Axial detector (In-Beam)

E-T detector (In-Chamber)

Retractable BSE (In-Chamber)

樣品室

內(nèi)部尺寸: 340 mm () × 315 mm () × 320 mm ( );

接口數(shù)量: 20個(gè);內(nèi)置主動(dòng)減震

樣品臺(tái)

電腦控制的全自動(dòng)樣品臺(tái)

X/Y = 130 mm, Z = 90 mm

R = 360°, T = -60°~ +90°



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