LCS系列 全自動(dòng)硅片甩干機(jī)廠家
- 公司名稱(chēng) 山東濟(jì)寧魯超超聲設(shè)備有限公司
- 品牌
- 型號(hào) LCS系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/3/11 15:55:11
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 3910
LCS系列立式旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)超聲波清洗機(jī)價(jià)格超聲波清洗機(jī)供應(yīng)硅片甩干機(jī)全自動(dòng)甩干機(jī)
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無(wú)損檢測(cè)儀器有:涂層測(cè)厚儀、電火花檢測(cè)儀、超聲波測(cè)厚儀、超聲波探傷儀等?! 」β食曉O(shè)備有:超聲波清洗機(jī)、超聲波清洗流水線(xiàn)、甩干機(jī)、超聲波洗瓶機(jī)、超聲波中藥處理機(jī)、超聲波膠塞清洗機(jī)、超聲波濾芯清洗機(jī)、超聲波乳化器等。
全自動(dòng)硅片甩干機(jī)是一種專(zhuān)門(mén)用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的高精密設(shè)備,主要用于清洗和干燥硅片。這種設(shè)備通過(guò)自動(dòng)化的流程,能夠高效地去除硅片表面的水分和其他殘留物,確保硅片的清潔度和干燥度,從而滿(mǎn)足后續(xù)工藝的要求。
主要特點(diǎn):
1.彩色液晶觸摸屏實(shí)時(shí)監(jiān)控,可存儲(chǔ)多種工藝菜單
2.腔體和轉(zhuǎn)架采用316不銹鋼,電化學(xué)拋光處理
3.去離子水電阻率監(jiān)控功能
4.無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)
5.氮?dú)鉁囟瓤刂?/p>
6.轉(zhuǎn)軸氮?dú)饷芊?/p>
7.具有鎖蓋防護(hù)功能
8.故障診斷、顯示、報(bào)警功能
9.可提用戶(hù)特殊要求配置
全自動(dòng)硅片甩干機(jī)采用高潔凈度的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干功能,能夠適應(yīng)不同直徑和形狀的片式材料的清洗需求。設(shè)備設(shè)計(jì)可以適應(yīng)不同直徑的硅片,包括方形和其他特殊形狀的材料。
設(shè)備采用全自動(dòng)控制,包括去離子水沖洗和加熱的氮?dú)飧稍?,?shí)現(xiàn)晶片襯底后的濕化學(xué)方法的自動(dòng)化處理。具備多項(xiàng)技術(shù)性能指標(biāo),如電源電壓、頻率、功率、絕緣電阻等,確保操作的安全性和穩(wěn)定性
包括使用氮?dú)夂腿ルx子水的相關(guān)安全性技術(shù)要求,如壓力、耗量、接口管徑和過(guò)濾精度等部分設(shè)備采用PLC和觸摸屏控制,實(shí)現(xiàn)整個(gè)過(guò)程的智能化,具有故障實(shí)時(shí)顯示和報(bào)警功能。設(shè)備設(shè)計(jì)考慮了節(jié)能和效率,如整個(gè)甩干過(guò)程一般只需5-6分鐘。主要部件采用耐腐蝕不銹鋼,并進(jìn)行電化學(xué)拋光處理,以提高設(shè)備的耐用性和清潔度。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)經(jīng)過(guò)精密動(dòng)平衡處理,保證工作時(shí)的平衡性,并采用特種減振器以實(shí)現(xiàn)精密減振和阻尼。
設(shè)備支持多種硅片規(guī)格、不同尺寸的掩模,滿(mǎn)足不同應(yīng)用需求。