SEMISHARE LCD/OLED 激光修復(fù)儀

SEMISHARE精密控制系統(tǒng)

工作參數(shù)：

 1、X軸行程1600mm,zui小移動(dòng)精度1μ

 2、Y軸行程1000mm，zui小移動(dòng)精度1μ

 3、Z軸行程50mm，zui小移動(dòng)精度1μ，Z軸zui大承重20kg

 4、R軸zui大調(diào)節(jié)行程±5°zui小調(diào)節(jié)精度0.01°

 5、搖桿檔位數(shù)量4檔位，對(duì)應(yīng)調(diào)節(jié)精度：1μ、10μ、100μ、1000μ

  6、玻璃臺(tái)面范圍：1600*1000mm zui大承載30kg

  7、電源輸入：230V,50Hz

工作臺(tái)的底部裝配氣囊式防震臺(tái)

型號(hào)：SS-VFT

防震參數(shù)

SEMISHARE激光系統(tǒng)

多波段激光切割系統(tǒng)能夠加載在絕大多數(shù)應(yīng)用于失效分析的顯微鏡上，可以實(shí)現(xiàn)圍觀層面的精確切割和選擇性材質(zhì)去除。

具有精密可靠的*激光傳輸系統(tǒng)(ABDS)可以選擇不同波段應(yīng)對(duì)不同材料裁剪和切割工作。空氣冷卻結(jié)構(gòu)使系統(tǒng)更小巧和無(wú)需維護(hù)。

特點(diǎn)

· 可以選擇不同波長(zhǎng)來(lái)應(yīng)對(duì)更大范圍的材質(zhì)切割

· 切割的*性良好，可重復(fù)切割大小從50μm x 50μm(紅外和可見(jiàn)光波段下使用50x物鏡) 到2μm x 2μm (使用100x 物鏡)的區(qū)域并保持良好的*性

· 連續(xù)快速材質(zhì)切割(每休息20秒可以以5Hz頻率工作10秒)

· 可以通過(guò)遠(yuǎn)端控制面板直觀的操作，面板上有LCD菜單顯示

· 在電腦上裝激光修復(fù)軟件后可以通過(guò)電腦控制

· 面板上HI/LO能量等級(jí)控制旋鈕可以實(shí)現(xiàn)切割能量的大范圍精確控制同時(shí)保持*的光束性能

· 安裝方便，無(wú)需費(fèi)力維護(hù)，無(wú)有毒氣體。

操作

操作方便，所有的動(dòng)作包括輸出能量等級(jí)，光斑尺寸，波段選擇均通過(guò)遠(yuǎn)端操作面板完成，這減少了碰傷顯微鏡的機(jī)會(huì)，同時(shí)可以通過(guò)電腦來(lái)操作。 單波段的系統(tǒng)可以簡(jiǎn)單的升級(jí)到多波段。

SEMISHARE多波段激光的優(yōu)勢(shì)

多波段激光可以讓IC設(shè)計(jì)工程師，失效分析工程師以及修復(fù)LCD的人員快速的切換波段來(lái)匹配他們的應(yīng)用。比如，紫外光可以直接去除polyimide 而不會(huì)對(duì)底層材質(zhì)造成損傷。紅外光可以半穿透硅和砷化鎵所以可以用它來(lái)切斷金屬線路而zui小的減少對(duì)襯底的損傷。綠光是應(yīng)用zui廣的一種，可以有效切斷金屬和去除氧化層。器件上往往有多種材質(zhì)故而需要多波段的切換來(lái)實(shí)現(xiàn)不同的操作。

SEMISHARE激光修復(fù)顯微鏡系統(tǒng) 

SEMISHARE LP連線系統(tǒng)

可以選擇SEMISHARE LP連線系統(tǒng)用于 mask 或者TFT-LCD補(bǔ)線，材質(zhì)(Au,Ag etc.)，zui小線寬10微米。