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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>化學氣相沉積設(shè)備>VCVD 頂立科技|碳材料熱工設(shè)備 立式化學氣相沉積爐(碳化硅)

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VCVD 頂立科技|碳材料熱工設(shè)備 立式化學氣相沉積爐(碳化硅)

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 湖南頂立科技有限公司
  • 品牌
  • 型號 VCVD
  • 產(chǎn)地 湖南長沙
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2017/6/22 10:01:20
  • 訪問次數(shù) 983

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湖南頂立科技有限公司是一家專業(yè)從事*新材料及熱工裝備研制、生產(chǎn)的“國家重點*”, 公司通過并購上市(股票代碼:002171楚江新材),成為全國為數(shù)不多的*新材料及智能熱工裝備的上市企業(yè)。

公司研發(fā)實力雄厚,創(chuàng)新能力強,擁有多專業(yè)、高水平的協(xié)同創(chuàng)新研發(fā)團隊;擁有“全國博士后科研工作站”、“湖南省院士專家工作站”、“湖南省新型熱工裝備工程技術(shù)研究中心”、“湖南省企業(yè)技術(shù)中心”、“湖南省工程實驗室”等創(chuàng)新平臺。攻克了*制約我國熱工裝備及新材料領(lǐng)域的重大關(guān)鍵核心技術(shù),取得了一系列科技成果。申請和*220余項,其中發(fā)明110余項,起草國家和行業(yè)標準5項;榮獲省部級科技獎勵12項,其中湖南省國防科技進步一等獎2項、中國有色科技進步一等獎1項、湖南省科技進步二等獎1項;完成科技成果鑒定(科學技術(shù)評價)16項,其中1項“*”、9項“*”;公司創(chuàng)新產(chǎn)品獲“國家重點新產(chǎn)品”、“湖南省重點新材料產(chǎn)品*次”、“湖南省*(套)重大技術(shù)裝備”、“湖南省百項重點新產(chǎn)品”支持。

公司研制開發(fā)的熱工裝備,廣泛適用于碳及碳化硅復合材料、真空熱處理、粉末冶金等多個領(lǐng)域。公司以振興民族產(chǎn)業(yè)為己任,積極參與國家重大專項的建設(shè),先后完成多項國家重大專項急需的新材料及熱工裝備的研制,成功打破西方國家封鎖和禁運;助力航天系統(tǒng)建成了*大尺寸、異型碳纖維復合材料構(gòu)件熱凈近成形智能熱工裝備數(shù)字化車間,推動航天航空等領(lǐng)城熱處理加工的智能制造,公司是航天航空等領(lǐng)域特種大型熱工裝備的重要研制生產(chǎn)單位。公司快速崛起成為我國**材料領(lǐng)域的新銳,專業(yè)生產(chǎn)高品質(zhì)金屬3D打印*球形粉體材料及金屬3D打印制品和特種系列碳/碳化硅等陶瓷基復合材料。  

多年以來,公司秉承“創(chuàng)新、服務、為顧客創(chuàng)造價值”的理念,始終以滿足客戶體驗度及實現(xiàn)客戶價值為前提,成為*新材料及熱工裝備領(lǐng)域方案解決者和綜合服務商。

碳及碳化硅復合材料熱工裝備,粉末冶金系列熱工裝備 ,真空熱處理系列裝備,新材料,霧化制粉裝備

頂立科技|碳材料熱工設(shè)備 立式化學氣相沉積爐(碳化硅) 技術(shù)特征

本化學氣相沉積爐采用*的控制技術(shù),能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動范圍小;

本化學氣相沉積爐采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強; 

本化學氣相沉積爐采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

對沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物能進行有效處理;

本化學氣相沉積爐采用設(shè)計防腐蝕真空機組,持續(xù)工作時間長,維修率極低。

頂立科技|碳材料熱工設(shè)備 立式化學氣相沉積爐(碳化硅) 主要配置

爐門:絲杠升降/液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊          

爐殼:全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質(zhì)復合氈/CFC                          

加熱器、馬弗:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

工藝氣路系統(tǒng):體積/質(zhì)量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產(chǎn)          

真空泵和真空計:進口/國產(chǎn)

PLC:歐姆龍/西門子                                      

控溫儀表:日本島電/英國歐陸 

熱電偶:C分度號/S分度號/K分度號/B分度號                        

記錄儀:無紙記錄儀/有紙記錄儀;進口/國產(chǎn)

人機界面:模擬屏/觸摸屏/工控機                              

電器元件:正泰/施耐德/西門子

產(chǎn)品規(guī)格

立式化學氣相沉積爐(碳化硅)產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)型號

VCVD-0305-SIC

VCVD-0608- SIC

VCVD-0812- SIC

VCVD-1015- SIC

VCVD-1120- SIC

VCVD-1520- SIC

工作區(qū)尺寸D×H(mm)

Φ300×500

Φ600×800

Φ800×1200

Φ1000×1500

Φ1100×2000

Φ1500×2000

zui高溫度(℃)

1500

1500

1500

1500

1500

1500

溫度均勻性(℃)

±5

±5

±7.5

±7.5

±10

±10

極限真空度(Pa)

50

50

50

50

50

50

壓升率(Pa/h)

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

以上立式化學氣相沉積爐(碳化硅)參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整,不作為驗收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。

湖南頂立科技有限公司是一家專業(yè)從事*新材料及熱工裝備研制、生產(chǎn)的“國家重點*”, 公司通過并購上市(股票代碼:002171楚江新材),成為全國為數(shù)不多的*新材料及智能熱工裝備的上市企業(yè)。

公司研發(fā)實力雄厚,創(chuàng)新能力強,擁有多專業(yè)、高水平的協(xié)同創(chuàng)新研發(fā)團隊;擁有“全國博士后科研工作站”、“湖南省院士專家工作站”、“湖南省新型熱工裝備工程技術(shù)研究中心”、“湖南省企業(yè)技術(shù)中心”、“湖南省工程實驗室”等創(chuàng)新平臺。攻克了*制約我國熱工裝備及新材料領(lǐng)域的重大關(guān)鍵核心技術(shù),取得了一系列科技成果。申請和*220余項,其中發(fā)明110余項,起草國家和行業(yè)標準5項;榮獲省部級科技獎勵12項,其中湖南省國防科技進步一等獎2項、中國有色科技進步一等獎1項、湖南省科技進步二等獎1項;完成科技成果鑒定(科學技術(shù)評價)16項,其中1項“”、9項“*”;公司創(chuàng)新產(chǎn)品獲“國家重點新產(chǎn)品”、“湖南省重點新材料產(chǎn)品*次”、“湖南省*(套)重大技術(shù)裝備”、“湖南省百項重點新產(chǎn)品”支持。

公司研制開發(fā)的熱工裝備,廣泛適用于碳及碳化硅復合材料、真空熱處理、粉末冶金等多個領(lǐng)域。公司以振興民族產(chǎn)業(yè)為己任,積極參與國家重大專項的建設(shè),先后完成多項國家重大專項急需的新材料及熱工裝備的研制,成功打破西方國家封鎖和禁運;助力航天系統(tǒng)建成了*大尺寸、異型碳纖維復合材料構(gòu)件熱凈近成形智能熱工裝備數(shù)字化車間,推動航天航空等領(lǐng)城熱處理加工的智能制造,公司是航天航空等領(lǐng)域特種大型熱工裝備的重要研制生產(chǎn)單位。公司快速崛起成為我國**材料領(lǐng)域的新銳,專業(yè)生產(chǎn)高品質(zhì)金屬3D打印球形粉體材料及金屬3D打印制品和特種系列碳/碳化硅等陶瓷基復合材料。  

多年以來,公司秉承“創(chuàng)新、服務、為顧客創(chuàng)造價值”的理念,始終以滿足客戶體驗度及實現(xiàn)客戶價值為前提,成為*新材料及熱工裝備領(lǐng)域方案解決者和綜合服務商。

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