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NPE-4000（ICPA）全自動ICPECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司
品牌
型號
產(chǎn)地德國
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2017/3/3 10:56:49
訪問次數(shù) 1836

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FIRSTNANO成立于2012年，一家由三位材料學(xué)博士共同創(chuàng)辦的德國公司。基于 “Science is international”的想法，“全球協(xié)同實(shí)驗(yàn)室”成為三位博士追逐的夢想。

公司愿景是從科學(xué)家到科學(xué)家，科學(xué)開創(chuàng)美好未來。

FIRSTNANO深耕于半導(dǎo)體技術(shù)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等科研領(lǐng)域，始終秉承“前沿、專業(yè)、科學(xué)”的宗旨，將前沿技術(shù)引進(jìn)到協(xié)同實(shí)驗(yàn)室。我們的產(chǎn)品覆蓋了微納加工制程；材料科學(xué)的檢測、分析；生命科學(xué)成像，腦科學(xué)與行為認(rèn)知等相關(guān)領(lǐng)域。作為全球科技前沿的儀器供應(yīng)商，FIRSTNANO具有全球技術(shù)視野、優(yōu)質(zhì)供應(yīng)體系、以及嚴(yán)格的質(zhì)量管控系統(tǒng)，能為客戶提供前沿的技術(shù)解決方案。

公司服務(wù)的客戶領(lǐng)域廣泛，其中包括消費(fèi)電子、航空、航天、醫(yī)藥技術(shù)、半導(dǎo)體行業(yè)、光電子行業(yè)、高校和研究機(jī)構(gòu)。

在成長的過程中，我們腳踏實(shí)地、奮勇向前。自2015年香港（中華區(qū)）公司成立以來，我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。

我們真誠邀請業(yè)內(nèi)英才加入FIRSTNANO TEAM，一起為夢想揚(yáng)帆起航！

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半導(dǎo)體儀器和電子產(chǎn)品耗材耗材

NPE-4000（ICPA）全自動ICPECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)概述：NANO-MASTER ICPECVD系統(tǒng)能夠沉積高質(zhì)量的SiO₂, Si₃N₄, 或DLC薄膜到zui大可達(dá)6" 直徑的基片上.該系統(tǒng)采用淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源來產(chǎn)生等離子，具有分形氣流分布的優(yōu)勢.樣品臺可以通過RF或脈沖DC產(chǎn)生偏壓。并可以支持加熱和循環(huán)冷卻水的冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機(jī)械泵，腔體可以達(dá)到低至10^-7 torr的真空。標(biāo)準(zhǔn)配置包含1路惰性氣體、3路活性氣體管路和4個(gè)MFC.帶有*氣體分布系統(tǒng)的平面中空陰極等離子源使得系統(tǒng)可以滿足廣大范圍的要求，無論是等離子強(qiáng)度、均勻度，還是要分別激活某些活性組份，這樣系統(tǒng)可以覆蓋zui廣的可能性來獲得各種沉積參數(shù)。

NPE-4000（ICPA）全自動ICPECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)應(yīng)用：

等離子誘導(dǎo)表面改性：就是通常所說的用等離子實(shí)現(xiàn)表面改性(如親水性、疏水性等)
等離子清洗：去除有機(jī)污染物
等離子聚合：對材料表面產(chǎn)生聚合反應(yīng)
沉積二氧化硅、氮化硅、DLC(類金剛石)，以及其它薄膜
CNT(碳納米管)和石墨烯的選擇性生長：在需要的位置生長CNT或石墨烯。

特點(diǎn)：

立式ICPECVD系統(tǒng)
不銹鋼或鋁制腔體
極限真空可達(dá)10-7Torr
全自動上下載片，帶預(yù)真空鎖
ICP離子源
高達(dá)6"(150mm)直徑的樣品臺
RF射頻偏壓樣品臺
水冷樣品臺
可加熱到的800 °C樣品臺
加熱的氣體管路
加熱的液體傳送單元
抗腐蝕的渦輪分子泵組
zui大可支持到8MFC
基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動控制
菜單驅(qū)動，4級密碼訪問保護(hù)
完整的安全聯(lián)鎖

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公司介紹 主營產(chǎn)品

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在成長的過程中，我們腳踏實(shí)地、奮勇向前。自2015年香港（中華區(qū)）公司成立以來，我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。

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