*** 常規(guī)配置:
真空腔室 | L400×W400×H450,前后開門結(jié)構(gòu),SUS304不銹鋼材質(zhì) |
真空系統(tǒng) | 復(fù)合分子泵+直聯(lián)旋片泵,超高真空插板閥,“兩低一高”數(shù)顯復(fù)合真空計 |
極限真空 | 優(yōu)于5.0×10-5Pa(如需獲得更高的真空度可選擇進口真空泵組) |
基片臺 | 基片臺直徑≤120mm;基片臺加熱:室溫~300℃;基片臺旋轉(zhuǎn)及光控定位 |
蒸發(fā)源 | 6組蒸發(fā)源(舟式源或掛絲源,兼容有機材蒸發(fā)) |
膜厚控制 | 掩膜及膜厚控制系統(tǒng):定制掩膜機構(gòu) 采用晶振膜厚儀在線監(jiān)測、控制膜厚 |
手套箱系統(tǒng) | 手套箱箱體尺寸:大箱體L1800/1200×W750×H900mm 箱體泄露率<0.05vol%/h,標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境箱體內(nèi)水、氧指標(biāo)<1ppm |
控制方式 | 鍍膜系統(tǒng)采用手動或PLC觸摸屏控制,手套箱系統(tǒng)采用PLC+觸摸屏控制 |
報警及保護系統(tǒng) | 對泵、電極等缺水,過流過壓,斷路等異常情況進行報警并執(zhí)行相應(yīng)保護措施;完善的邏輯程序互鎖保護系統(tǒng) |