ZLM800雙頻激光干涉儀是德國(guó)Jenaer公司生產(chǎn)的新一代激光干涉儀。通過把性能穩(wěn)定的氦氖氣體激光與電子電路相結(jié)合，而制造出新型的干涉儀測(cè)量系統(tǒng)。
    配備的可編程ASIC裝置，可根據(jù)用戶的要求，提供個(gè)性化測(cè)量系統(tǒng)方案。
    ZLM800激光干涉儀廣泛應(yīng)用于單一校準(zhǔn)系統(tǒng)、多軸定位系統(tǒng)及快速動(dòng)力學(xué)控制系統(tǒng)。它可以測(cè)算出機(jī)械設(shè)備的動(dòng)力學(xué)行為，通過WINDOWS軟件，按用戶設(shè)定的工作方式對(duì)其進(jìn)行分析。
    ZLM800激光干涉儀配有一個(gè)模塊化系統(tǒng)超級(jí)蔡司光學(xué)鏡頭，為用戶使用激光干涉儀進(jìn)行測(cè)量提供了*的解決方案：

位置 距離 速度 加速度 角度 振動(dòng) 直度 垂直度 平坦度 整齊度

工作模式
    型ZLM800激光干涉儀使用氦氖氣體激光，在雙頻外差中工作。 激光熱穩(wěn)定性為0.002 ppm，兩種模式下640MHz擊打頻率相當(dāng)于信號(hào)處理能力的四倍。這種高頻處理信號(hào)可以對(duì)運(yùn)動(dòng)速度非常塊的物體進(jìn)行測(cè)量而無(wú)干擾誤差，信號(hào)延時(shí)非常短。
    通過光纖電纜來(lái)傳輸干涉儀光學(xué)鏡頭到PC插槽上電子計(jì)數(shù)器電路信號(hào)，可防止外部電磁環(huán)境的干擾。因此ZLM800特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量環(huán)境及高真空環(huán)境。
    作為PC插槽的替代品，可使用獨(dú)立的數(shù)據(jù)處理電子單元。它帶有多個(gè)接口，用于數(shù)據(jù)輸出、連接閉環(huán)控制回路。該型號(hào)的干涉儀可以擴(kuò)展為五軸測(cè)量。

產(chǎn)品特點(diǎn) 

被測(cè)物體zui大速度16m/s 無(wú)干擾誤差時(shí)的分辨率2.5nm（帶平面鏡干涉儀時(shí)為1.25nm） 無(wú)加速度限制 即使非常低的光線水平，探測(cè)信號(hào)也十分穩(wěn)定 信號(hào)延時(shí)<200 ns 激光壽命內(nèi)，頻率穩(wěn)定 對(duì)電磁干擾不敏感 適用于在高真空中使用的超級(jí)蔡司光學(xué)鏡頭

可靠性測(cè)量方法
    使用相關(guān)的測(cè)量軟件及簡(jiǎn)單的操作，ZLM800干涉儀可完成可靠穩(wěn)定的測(cè)量任務(wù)，它*符合ISO9000/9004標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范。

ZLM800系統(tǒng)增加了測(cè)量的可靠性和穩(wěn)定性
    世界范圍內(nèi)，ISO9000/9004是產(chǎn)品質(zhì)量控制管理的統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，嚴(yán)格根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)來(lái)進(jìn)行的質(zhì)量檢測(cè)，可以保證任何制造企業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量的性能。
    測(cè)量的穩(wěn)定性由測(cè)量工具、測(cè)量方法和操作者等多方面因素決定，測(cè)量系統(tǒng)的標(biāo)定誤差會(huì)*影響測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

    通過一種新的測(cè)量助手軟件可以zui大限度減小整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的調(diào)整誤差。兩個(gè)四象限傳感器置于激光測(cè)量鏡頭內(nèi)， 一個(gè)用作測(cè)量光束，一個(gè)用作參考光束，從而保證了干涉儀系統(tǒng)能夠以*的工作方式與被測(cè)的物體相適應(yīng)。由于使用了大屏幕顯示，因此干涉儀的自適應(yīng)能力會(huì)非常靈敏。

使用調(diào)整助手的優(yōu)點(diǎn)

• 系統(tǒng)調(diào)整精度顯示的建立時(shí)間zui小化
• 即使在zui復(fù)雜的設(shè)置環(huán)境中，激光頭的自調(diào)整能力也非常強(qiáng)
• 在zui高穩(wěn)定性的情況下來(lái)完成測(cè)量任務(wù)

智能化測(cè)量方法
    ZLM800信號(hào)處理電路是以可編程ASIC裝置為基礎(chǔ)的。在測(cè)量工作中，不同信號(hào)之間的相互作用沒有影響。
    ZLM800可以與外部第二個(gè)計(jì)數(shù)系統(tǒng)相連接，這就使得被測(cè)設(shè)備和激光測(cè)試儀之間的比較變成一個(gè)路徑、節(jié)約時(shí)間。該過程使用實(shí)時(shí)信號(hào)偶合，按照德標(biāo)或標(biāo)準(zhǔn)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。
    激光測(cè)試儀作為zui準(zhǔn)確三維測(cè)量工具，測(cè)量數(shù)據(jù)易于記錄，不易丟失。這些優(yōu)點(diǎn)使得ZLM800激光測(cè)試儀是機(jī)械設(shè)備校準(zhǔn)和鑒定使用德理想選擇。

測(cè)量控制標(biāo)準(zhǔn)
VDI / DGQ 3441
DIN / ISO 230
VDI / VDE 2617
NMTBA

精準(zhǔn)的測(cè)量方式
    在環(huán)境條件（特殊情況下的物質(zhì)溫度）通過AUK500自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償儀（氣象站）*記錄下來(lái)，并且周圍環(huán)境情況與測(cè)量室內(nèi)條件*的情況下。即使是標(biāo)準(zhǔn)的配置，ZLM800激光測(cè)試儀的分辨率也能夠達(dá)到5nm，測(cè)量誤差優(yōu)于1µm/m。

使用ZLM800激光干涉儀，使對(duì)機(jī)器設(shè)備和比較儀的長(zhǎng)度測(cè)量校準(zhǔn)變得更為容易和簡(jiǎn)單。

周圍環(huán)境對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響可通過AUK500自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償儀或手工輸入來(lái)修正。zui多可使用5個(gè)物質(zhì)溫度傳感器來(lái)補(bǔ)償被測(cè)物體的線性偏移。

簡(jiǎn)便的測(cè)量方式
    ZLM800激光干涉儀帶有WINDOWS™數(shù)據(jù)分析軟件，長(zhǎng)度測(cè)量精度極為準(zhǔn)確，而且對(duì)數(shù)據(jù)的分析也極為方便。 可隨意登陸測(cè)量數(shù)據(jù)、表格和圖表，并且可充分利用WINDOWS™程序的各種優(yōu)勢(shì)。無(wú)論是測(cè)量位置、角度或者是直線度，由Carl Zeiss設(shè)計(jì)的軟件可以集成到任何的微軟WINDOWS™系統(tǒng)中。測(cè)量、分析、記錄和數(shù)據(jù)存檔過程都可在短時(shí)間內(nèi)輕松的完成。
    在程序設(shè)計(jì)的過程中，用戶zui關(guān)心的一個(gè)問題是測(cè)量結(jié)果的記錄。集成式記錄編輯器使得編輯和打印某個(gè)圖表、表格和用戶的內(nèi)容更為容易。所有記錄的內(nèi)容都可通過剪貼板上的中間編輯器來(lái)導(dǎo)出到文字處理器中。

		在準(zhǔn)備和測(cè)量的過程中，zui重要的信息項(xiàng)目信息都會(huì)顯示出來(lái)。使用鼠標(biāo)或很少的幾個(gè)按鍵，就可進(jìn)入所有的功能程序中。
要測(cè)算和分析測(cè)量的數(shù)據(jù)，通過簡(jiǎn)單的操作，就可生成各種圖形和表格，甚至某些極小的細(xì)節(jié)都可囊括進(jìn)去。
		測(cè)量的數(shù)據(jù)可以在文檔卡中存檔。通過卡片標(biāo)簽，可以對(duì)某些特殊數(shù)據(jù)進(jìn)行快速檢索，甚至從大量數(shù)據(jù)中進(jìn)行檢索。

本干涉儀的優(yōu)勢(shì)性能

測(cè)量 記錄打印 鑒定 過程優(yōu)化

校準(zhǔn)、定位、對(duì)齊 機(jī)械誤差補(bǔ)償 主軸導(dǎo)線誤差補(bǔ)償 螺距誤差補(bǔ)償

控制 運(yùn)動(dòng)分析 動(dòng)態(tài)行為 誤差補(bǔ)償

ZLM800雙頻激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

真空中氦氖激光平均波長(zhǎng)	632.8 nm
波長(zhǎng)穩(wěn)定性	2*10-9 一個(gè)小時(shí) 2*10-8 壽命周期內(nèi)
激光束直徑	6mm （可選3.2mm）
應(yīng)急擴(kuò)展激光束zui大輸出	1mW
每束激光測(cè)量軸數(shù)量	1, zui多可選擇6個(gè)
距離的測(cè)量范圍	130英尺，zui多可選390英尺
角度的測(cè)量范圍	±15°，長(zhǎng)度zui大65英尺
直線度的測(cè)量范圍	±0.195英寸， 長(zhǎng)度6.5英尺，或32.5英尺
zui大速度
線性	<4m/s，可選16m/s
角度	<320 rad/s
距離的分辨率
立體角鏡干涉儀	2.5nm  （可選0.3nm）
平面鏡干涉儀	1.25nm （可選0.1nm）
非線性度
立體角鏡干涉儀	± 1.25nm
平面鏡干涉儀	± 0.62nm
角度的分辨率	0.62*10-7rad
直線度的分辨率	145 nm，32.5時(shí) 29 nm， 6.5英尺
接口	正交信號(hào) 32bit（實(shí)時(shí)時(shí)間） Δt≈20ns
內(nèi)部環(huán)境	15°C ... 30°C 光學(xué)/高真空