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賦能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新！第四屆半導(dǎo)體超精密分析技術(shù)及應(yīng)用線上研討會報(bào)名開啟
一、雙級旋片真空泵為什么會出現(xiàn)高溫?
電機(jī)功率大，工作電流大，導(dǎo)致真空泵高溫。風(fēng)扇葉片數(shù)較少，產(chǎn)生的風(fēng)量小。風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低，風(fēng)壓，風(fēng)量小。真空泵電機(jī)所在母線電壓為380V，由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均，電機(jī)實(shí)際所加電壓只有365V，電壓偏低造成運(yùn)行電流大。電動(dòng)機(jī)附有灰塵、油污，降低了散熱能力，導(dǎo)致真空泵高溫。等等都會導(dǎo)致真空泵出現(xiàn)高溫情況。
二、雙級旋片真空泵高溫解決方案
電機(jī)功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵相匹配的，不能更改。風(fēng)扇安裝于電機(jī)主軸上，電機(jī)轉(zhuǎn)速?zèng)Q定了風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，也不可更換。增加風(fēng)扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用，但葉片數(shù)量增加后，動(dòng)平衡不容易找，如找正不好，會引起電機(jī)振動(dòng)增加。
(1)將原雙級旋片真空泵風(fēng)扇罩加長40cm，在里面加裝一個(gè)與風(fēng)扇罩同直徑軸流風(fēng)機(jī)，軸流風(fēng)機(jī)電機(jī)功率850W，轉(zhuǎn)速1489r/min，電壓380V。原風(fēng)扇繼續(xù)保留。軸流風(fēng)機(jī)另設(shè)一路電源控制，軸流風(fēng)機(jī)與主電機(jī)不設(shè)連鎖。真空泵啟動(dòng)后及時(shí)啟動(dòng)軸流風(fēng)機(jī)運(yùn)行，真空泵停運(yùn)后30min停運(yùn)軸流風(fēng)機(jī)，以使主電機(jī)得到充分冷卻。
(2)定期清除真空泵電機(jī)上灰塵，保持電機(jī)散熱片清潔，增加其散熱能力。
(3)將真空泵所在母線電壓調(diào)整為400V。
我們都知道真空泵油在旋片真空泵中起著十分重要的作用，特別是2X旋片真空泵，其的性能與真空泵油息息相關(guān)，尤其是真空泵的極限真空壓力，和使用壽命。真空泵油不單單是作為獲得真空的介質(zhì)，還對真空泵摩擦點(diǎn)起潤滑、冷卻和密封作用。下面由小編介紹旋片真空泵如何選擇真空泵油：
雙級旋片真空泵油主要性能要求有以下幾點(diǎn)：
極低的蒸氣壓;這是真空泵油的zui重要的性能，由于旋片真空泵要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油。
良好的熱氧化安定性;真空泵不斷向高速度發(fā)展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解，尤其擴(kuò)散泵往往處于很高的溫度環(huán)境下工作，使系統(tǒng)內(nèi)蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。
合適的粘度和良好的粘溫特性：真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。
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