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賦能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新！第四屆半導(dǎo)體超精密分析技術(shù)及應(yīng)用線上研討會報名開啟
在對無塵凈化車間進(jìn)行潔凈度檢測時，盡管規(guī)定了空氣的zui小采樣量，但在實際工作中，我們應(yīng)在保證zui小采樣量前提條件下，根據(jù)已有的檢測設(shè)備，盡量采用大流量的塵埃粒子計數(shù)器。
1、檢測儀器的選用
對無塵凈化車間內(nèi)的潔凈度的測量，可以采用凈化工程光散射粒子計數(shù)器、凝結(jié)核粒子計數(shù)器、電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡，但目前用得zui多的為光散射粒子計數(shù)器。由于此種粒子計數(shù)器在使用中可以對室內(nèi)空氣的含塵量進(jìn)行自動、連續(xù)、及時地對應(yīng)測量，并且可以直接顯示瞬時的含塵濃度，也可以對不同粒徑的含塵濃度進(jìn)行測量，使用簡單、方便、及時、靈活。計數(shù)器大體上可分這兩種類型：一種是照射系統(tǒng)光軸與檢測系統(tǒng)光軸交叉布置的側(cè)向散射型;另一種是兩光軸布置在同一直線上的前向散射型。
2、凈化車間潔凈度檢測時，使用光散射粒子計數(shù)器的取樣量
關(guān)于塵埃粒子計數(shù)器檢測時的空氣取樣量，在國標(biāo)GBJ73-84中規(guī)定：對于100級的無塵凈化車間，每次取樣量應(yīng)大于或等于1L，對于1000~10000級的無塵凈化車間，每次取樣量應(yīng)大于或等于0.3L，對于10000級的無塵凈化車間，每次取樣量應(yīng)大于或等于0.1L。
對于100級無塵凈化車間，宜采用大流量粒子計數(shù)器進(jìn)行測試。如果不具備，也應(yīng)采用每次采樣量不小于1L的粒子計數(shù)器。
在對無塵凈化車間進(jìn)行潔凈度檢測時，盡管規(guī)定了空氣的zui小采樣量，但在實際工作中，我們應(yīng)在保證zui小采樣量前提條件下，根據(jù)已有的檢測設(shè)備，盡量采用大流量的塵埃粒子計數(shù)器。
3、檢測點的布置
根據(jù)中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GBJ73-84《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》的規(guī)定：在對無塵凈化車間進(jìn)行潔凈度檢測時，檢測點應(yīng)為距室內(nèi)地坪1.00m的水平面 內(nèi);對于單向流型無塵凈化車間測點總數(shù)應(yīng)不小于20點，測點間距為0.5-2.0m。水平單向流測點僅布置在*無塵凈化車間工作區(qū)內(nèi);非單向流無塵凈化車間按無塵凈化車間面積小于或等于50m2布置5個測點。
4、關(guān)于等動力采樣的問題
所謂等動力采樣就是在檢測時，粒子的計數(shù)器的采樣管的入口方向與被采樣的單向氣流方向相一致，而且空氣進(jìn)入取樣管入口的平均速度與該位置單向氣流的平均速度相同。
因為對凈化工程的檢測我們主要關(guān)心兩種粒徑，即0.5um和5um。非等動力采樣對于≤0.5um的粒子影響不大。如果取樣空氣用于計算大于或等于 0.5um的粒徑濃度，如果這些粒子不受非等動力條件的影響，則計算結(jié)果也不受影響。因此，無塵凈化車間區(qū)域內(nèi)的非等動力取樣僅對大于或等于0.5um粒子才有意義。
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